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Pressemitteilung




Reduzierter Stromverbrauch, geringere Stellfläche, höhere Verfügbarkeit


Innovatives Nanotech-System SOLARIS revolutioniert
Produktion von kristallinen Solarzellen

Balzers, 28. Mai 2009 –Oerlikon Systems stellt heute zum ersten Mal SOLARIS vor,
eine revolutionäre Produktionslösung, die die Herstellung kristalliner Solarzellen
stark verbessert. „Der Trick war, unsere umfangreichen Erfahrungen mit
hochproduktiven Beschichtungsanlagen (CD/DVD/Blu-ray) und unsere führende
Nanobeschichtungstechnologie miteinander zu verbinden” so Andreas Dill, Leiter
der Geschäftseinheit Oerlikon Systems. Dies führte zur ersten Nanotech-
Maschine, die für die Massenproduktion konstruiert wurde. Das Geschäft mit
kristallinen Solarzellen ist nun der erste Markt, auf den Oerlikon Systems abzielt.


Die Produktionskosten für Solarenergie hängen nicht nur von der Zelleneffizienz,
sondern auch von der Produktivität des Herstellungsprozesses ab. „Wenn wir die Kosten
für Solarstrom signifikant auf Netzparität reduzieren wollen, müssen wir nicht nur die
Zellen selbst verbessern, sondern auch die Produktionstechnologie überarbeiten,” erklärt
Dill, Leiter von Oerlikon Systems. Die bestehende standardmässige
Fabrikationsmethode für die Herstellung von kristallinen Solarzellen basiert auf
komplexen Prozessen mit hohem Bedarf an Reinigung und manueller Wartung.


Im Gegensatz zu diesen traditionellen Verfahren stützt sich das SOLARIS-System auf
innovative Nanotechnologie. Bei der Herstellung von Solarzellen mittels SOLARIS
werden sehr dünne Siliziumnitridschichten auf die Vorderseite der Zellen aufgetragen.
Die Flexibilität der Anlage erlaubt jedoch auch das Beschichten der Rückseite mit
unterschiedlichen Materialien. Jeder Wafer wird separat bearbeitet und beschichtet. Mit
sechs Beschichtungskammern, einem speziellen Transportmechanismus und einer
umfangreichen Palette von potenziellen Beschichtungsmaterialien verfügt SOLARIS
nicht nur über eine hohe Flexibilität, sondern gleichzeitig über eine bisher unerreichte
Produktivität. Die Maschine ist ausserdem in der Lage, Standard-Waferformate von
125mm2 bis zu 156mm2 zu bearbeiten. Durchschnittlich werden bis zu 1200 Wafer pro
Stunde erreicht. Der Wechsel von Substratformaten, Beschichtungsmaterialien oder

OC Oerlikon Management AG, Pfäffikon   Telefon      +41 58 360 96 96
Churerstrasse 120                      Fax          +41 58 360 91 96
P.O. Box                               www.oerlikon.com
CH-8808 Pfäffikon SZ
Page 2   Prozessen benötigt weniger als eine Stunde. Ein neues System beim Kunden kann in
         weniger als einer Woche einsatzbereit sein.


         „Mit SOLARIS haben wir zum ersten Mal modernste Nanotechnologie für die Produktion
         kristalliner Solarzellen angewandt”, erklärt Andreas Dill, Leiter von Oerlikon Systems –
         „mit enormen Vorteilen für die Produzenten von Solarzellen. Erstens benötigt SOLARIS
         mit Abmessungen von 2 Meter x 3,3 Meter 80 Prozent weniger Stellfläche als andere
         Verfahren. Zweitens erfordert die automatisierte Lösung nur minimale Wartungsarbeiten.
         Drittens benötigt SOLARIS signifikant weniger Energie (minus 50 Prozent). Und
         schliesslich führen weniger Wartungsarbeiten zu einer signifikante längeren Betriebszeit.
         Die Vorteile von SOLARIS sind offensichtlich. Es handelt sich um ein revolutionäres
         Konzept zur Herstellung von Solarzellen – die erste vieler „sauberer Technologien“, die
         mit diesem neuen System möglich sind”, so Dill.


         Der erste Solarzellenkunde, einer der führenden Hersteller von Solarzellen, führt zur Zeit
         Produktionstests mit SOLARIS durch. Zudem haben die Entwicklungsteams bei Oerlikon
         weitere konkrete Anwendungen vor Augen:


                 §   Touch Panels: Diese Geräte werden in alles integriert, von Smart Phones bis
                     zu PCs und Kühlschränken. SOLARIS trägt eine zentrale Leitungsschicht und
                     anti-reflektierende Beschichtungen auf die Touchscreen-Panels auf.
                 §   Thermoelektrik: Diese „grüne Energie“-Geräte generieren Elektrizität, wenn
                     sie erwärmt werden. Die von SOLARIS aufgebrachten Dünnfilmschichten
                     leiten sehr gut Strom, aber keine Wärme, was die Geräte in Betrieb hält.
                 §   Energiespeicher: Eigentlich eine Familie von Anwendungen, zu der
                     hocheffiziente (kleinere und leichtere) Dünnfilmbatterien und moderne
                     Superkondensatoren für die Energiespeicherung gehören; SOLARIS bietet
                     Dünnfilmprozesse für alle diese Anwendungen.




         OC Oerlikon Management AG, Pfäffikon   Telefon      +41 58 360 96 96
         Churerstrasse 120                      Fax          +41 58 360 91 96
         P.O. Box                               www.oerlikon.com
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Page 3   Für Oerlikon Systems eröffnet SOLARIS eine komplette Welt für neue moderne
         Nanotechnologieanwendungen. „Der Start auf dem Markt für kristalline Solarzellen
         markiert erst den Anfang“, so Andreas Dill.




         Für weitere Informationen besuchen Sie bitte www.oerlikon.com/systems/solaris




         Oder kontaktieren Sie:
         Sven E. Jarby                                    Burkhard Boendel
         Head of Marketing & Communications               Head of Corporate Communications
         Oerlikon Balzers Ltd.                            OC Oerlikon Management AG
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         F +423 388 5426                                      F +41 58 360 91 93
         sven.jarby@oerlikon.com                              pr@oerlikon.com
         www.oerlikon.com                                     www.oerlikon.com

           Über Oerlikon – Enabling High Technology

          Oerlikon (SWX: OERL) zählt weltweit zu den erfolgreichsten Hightech Industriekonzernen mit einem Fokus
          auf Maschinen- und Anlagenbau. Das Unternehmen steht für führende Industrielösungen und
          Spitzentechnologien und ist in den sechs Segmenten Textilmaschinen- und Anlagenbau, Dünnschicht-
          Solar, Dünnfilm-Beschichtung, Antriebs-, Präzisions- und Vakuumtechnologie tätig. Als Unternehmen mit
          schweizerischem Ursprung und einer 100jährigen Tradition ist Oerlikon mit über 18.000 Mitarbeitern an 180
          Standorten in 37 Ländern heute ein Global Player und erwirtschaftete 2008 einen Umsatz von CHF 4,8
          Mrd. Das Unternehmen ist in den jeweiligen globalen Märkten an erster oder zweiter Position.




         OC Oerlikon Management AG, Pfäffikon       Telefon      +41 58 360 96 96
         Churerstrasse 120                          Fax          +41 58 360 91 96
         P.O. Box                                   www.oerlikon.com
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  • 1. Pressemitteilung Reduzierter Stromverbrauch, geringere Stellfläche, höhere Verfügbarkeit Innovatives Nanotech-System SOLARIS revolutioniert Produktion von kristallinen Solarzellen Balzers, 28. Mai 2009 –Oerlikon Systems stellt heute zum ersten Mal SOLARIS vor, eine revolutionäre Produktionslösung, die die Herstellung kristalliner Solarzellen stark verbessert. „Der Trick war, unsere umfangreichen Erfahrungen mit hochproduktiven Beschichtungsanlagen (CD/DVD/Blu-ray) und unsere führende Nanobeschichtungstechnologie miteinander zu verbinden” so Andreas Dill, Leiter der Geschäftseinheit Oerlikon Systems. Dies führte zur ersten Nanotech- Maschine, die für die Massenproduktion konstruiert wurde. Das Geschäft mit kristallinen Solarzellen ist nun der erste Markt, auf den Oerlikon Systems abzielt. Die Produktionskosten für Solarenergie hängen nicht nur von der Zelleneffizienz, sondern auch von der Produktivität des Herstellungsprozesses ab. „Wenn wir die Kosten für Solarstrom signifikant auf Netzparität reduzieren wollen, müssen wir nicht nur die Zellen selbst verbessern, sondern auch die Produktionstechnologie überarbeiten,” erklärt Dill, Leiter von Oerlikon Systems. Die bestehende standardmässige Fabrikationsmethode für die Herstellung von kristallinen Solarzellen basiert auf komplexen Prozessen mit hohem Bedarf an Reinigung und manueller Wartung. Im Gegensatz zu diesen traditionellen Verfahren stützt sich das SOLARIS-System auf innovative Nanotechnologie. Bei der Herstellung von Solarzellen mittels SOLARIS werden sehr dünne Siliziumnitridschichten auf die Vorderseite der Zellen aufgetragen. Die Flexibilität der Anlage erlaubt jedoch auch das Beschichten der Rückseite mit unterschiedlichen Materialien. Jeder Wafer wird separat bearbeitet und beschichtet. Mit sechs Beschichtungskammern, einem speziellen Transportmechanismus und einer umfangreichen Palette von potenziellen Beschichtungsmaterialien verfügt SOLARIS nicht nur über eine hohe Flexibilität, sondern gleichzeitig über eine bisher unerreichte Produktivität. Die Maschine ist ausserdem in der Lage, Standard-Waferformate von 125mm2 bis zu 156mm2 zu bearbeiten. Durchschnittlich werden bis zu 1200 Wafer pro Stunde erreicht. Der Wechsel von Substratformaten, Beschichtungsmaterialien oder OC Oerlikon Management AG, Pfäffikon Telefon +41 58 360 96 96 Churerstrasse 120 Fax +41 58 360 91 96 P.O. Box www.oerlikon.com CH-8808 Pfäffikon SZ
  • 2. Page 2 Prozessen benötigt weniger als eine Stunde. Ein neues System beim Kunden kann in weniger als einer Woche einsatzbereit sein. „Mit SOLARIS haben wir zum ersten Mal modernste Nanotechnologie für die Produktion kristalliner Solarzellen angewandt”, erklärt Andreas Dill, Leiter von Oerlikon Systems – „mit enormen Vorteilen für die Produzenten von Solarzellen. Erstens benötigt SOLARIS mit Abmessungen von 2 Meter x 3,3 Meter 80 Prozent weniger Stellfläche als andere Verfahren. Zweitens erfordert die automatisierte Lösung nur minimale Wartungsarbeiten. Drittens benötigt SOLARIS signifikant weniger Energie (minus 50 Prozent). Und schliesslich führen weniger Wartungsarbeiten zu einer signifikante längeren Betriebszeit. Die Vorteile von SOLARIS sind offensichtlich. Es handelt sich um ein revolutionäres Konzept zur Herstellung von Solarzellen – die erste vieler „sauberer Technologien“, die mit diesem neuen System möglich sind”, so Dill. Der erste Solarzellenkunde, einer der führenden Hersteller von Solarzellen, führt zur Zeit Produktionstests mit SOLARIS durch. Zudem haben die Entwicklungsteams bei Oerlikon weitere konkrete Anwendungen vor Augen: § Touch Panels: Diese Geräte werden in alles integriert, von Smart Phones bis zu PCs und Kühlschränken. SOLARIS trägt eine zentrale Leitungsschicht und anti-reflektierende Beschichtungen auf die Touchscreen-Panels auf. § Thermoelektrik: Diese „grüne Energie“-Geräte generieren Elektrizität, wenn sie erwärmt werden. Die von SOLARIS aufgebrachten Dünnfilmschichten leiten sehr gut Strom, aber keine Wärme, was die Geräte in Betrieb hält. § Energiespeicher: Eigentlich eine Familie von Anwendungen, zu der hocheffiziente (kleinere und leichtere) Dünnfilmbatterien und moderne Superkondensatoren für die Energiespeicherung gehören; SOLARIS bietet Dünnfilmprozesse für alle diese Anwendungen. OC Oerlikon Management AG, Pfäffikon Telefon +41 58 360 96 96 Churerstrasse 120 Fax +41 58 360 91 96 P.O. Box www.oerlikon.com CH-8808 Pfäffikon SZ
  • 3. Page 3 Für Oerlikon Systems eröffnet SOLARIS eine komplette Welt für neue moderne Nanotechnologieanwendungen. „Der Start auf dem Markt für kristalline Solarzellen markiert erst den Anfang“, so Andreas Dill. Für weitere Informationen besuchen Sie bitte www.oerlikon.com/systems/solaris Oder kontaktieren Sie: Sven E. Jarby Burkhard Boendel Head of Marketing & Communications Head of Corporate Communications Oerlikon Balzers Ltd. OC Oerlikon Management AG Business Unit Systems OC Oerlikon Management AG, Pfäffikon Telefon +41 58 360 96 96 Churerstrasse 120 Fax +41 58 360 91 96 P.O. Box www.oerlikon.com CH-8808 Pfäffikon SZ
  • 4. Page 4 T +423 388 4878 T +41 58 360 96 02 F +423 388 5426 F +41 58 360 91 93 sven.jarby@oerlikon.com pr@oerlikon.com www.oerlikon.com www.oerlikon.com Über Oerlikon – Enabling High Technology Oerlikon (SWX: OERL) zählt weltweit zu den erfolgreichsten Hightech Industriekonzernen mit einem Fokus auf Maschinen- und Anlagenbau. Das Unternehmen steht für führende Industrielösungen und Spitzentechnologien und ist in den sechs Segmenten Textilmaschinen- und Anlagenbau, Dünnschicht- Solar, Dünnfilm-Beschichtung, Antriebs-, Präzisions- und Vakuumtechnologie tätig. Als Unternehmen mit schweizerischem Ursprung und einer 100jährigen Tradition ist Oerlikon mit über 18.000 Mitarbeitern an 180 Standorten in 37 Ländern heute ein Global Player und erwirtschaftete 2008 einen Umsatz von CHF 4,8 Mrd. Das Unternehmen ist in den jeweiligen globalen Märkten an erster oder zweiter Position. OC Oerlikon Management AG, Pfäffikon Telefon +41 58 360 96 96 Churerstrasse 120 Fax +41 58 360 91 96 P.O. Box www.oerlikon.com CH-8808 Pfäffikon SZ