Das Dokument untersucht die Eignung von MEMS-Durchflusssensoren zur Atemfluss- und Sauerstoffmessung in der Medizintechnik. Es beschreibt die Entwicklung der Messhardware und die Durchführung von Volumenflussmessungen sowie die Anwendungsmöglichkeiten in der Patientenüberwachung. Zudem werden Ansätze zur Weiterentwicklung der Sensoren und deren spezifische Anpassung an medizinische Anforderungen diskutiert.