1. ФИО всех участников вашего проекта. Их специализация и образование. Расскажите нам в
одном-двух предложениях что-нибудь о каждом участнике, что покажет их уникальность в
вашей команде и высокий уровень профессионализма. Есть ли в вашей команде
студент/аспирант/сотрудник МГУ?:
Лаборатория ионно-пучковыхнанотехнологий ОФАЯ НИИЯФ МГУ:
Черныш Владимир Савельевич – Ведущий научный сотрудник. Специализация: Исследование
взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом: распыление и вторичная ионная эмиссия
металлов, полупроводников, включая многокомпонентные материалы; Модификация и анализ
поверхности с помощью ионных пучков, напыление тонких плёнок, разработка ионных
источников и ионно-пучковых систем; Изучение нанорельефа, формирующегося на поверхности
полупроводниковых материалов при низкоэнергетическом ионном облучении; Разработка
ускорителя газовых кластерных ионов.
Куликаускас Вацлав Станиславович – Ведущий научный сотрудник. Специализация: Исследование
взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом, модификация и анализ поверхности с
помощью ионных пучков, напыление тонких плёнок
Черных Павел Николаевич – Старший научный сотрудник НИИЯФ МГУ. Специализация: Обратное
рассеяние, Спектрометрия рассеяния ионов средних энергий, Магнетронное осаждение
Шемухин Андрей Александрович. Аспирант Физический факультет МГУ. Специализация:
модификация и анализ поверхности, разработка ионных источников и ионно-пучковых систем.
Балакшин Юрий Викторович. Аспирант Физический факультет МГУ. Специализация: Ионная
имплантация, Ионно-пучковые методики исследования покрытий
Назаров Антон Викторович. Студент Физический факультет МГУ.исследование
многокомпонентных покрытий с помощью рассеяния ионов средних энергий.
Головенков Павел –Студент Физический факультет МГУ.
Научно-образовательный центр «Функциональныенаноматериалы» БФУ им. И. Канта,
Калининград:
Гойхман Александр Юрьевич – Директор НОЦ «Функциональныенаноматериалы», ведущий
научный сотрудник Инновационного Парка БФУ им. И. Канта. Специализация: тонкопленочное
материаловедение, разработка и создание функциональныхнанострукутр
Прокопович Павел Аликович – научный сотрудник НОЦ «Функциональные Наноматериалы».
Специализация: разработка, изготовление и сборка уникального современного вакуумного
оборудования
Грунин Алексей Игоревич – аспирант, физико-технический факультет БФУ им. И. Канта, младший
научный сотрудник НОЦ «ФункциональныеНаноматериалы». Специализация: формирование
наноразмерных структур, исследование структурных свойств.
Лятун Иван Иванович – студент, физико-технический факультет БФУ им. И. Канта. Специализация:
методы исследования структурных свойств и фазового состава наноразмерных материалов.

2. Институт микроэлектроники РАН:
Рудый Александр Степанович – Заведующий лабораторией. Специализация: Диагностики микро–
и наноструктур Исследование взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом, модификация
и анализ поверхности с помощью ионных пучков, напыление тонких плёнок
Паршин Евгений Владимирович – Научный сотрудник. Специализация: Исследование
взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом, модификация и анализ поверхности с
помощью ионных пучков, напыление тонких плёнок
Какую проблему вы решаете?:
Сегодня трудно представить наш мир без ионных пучков. Многие из фундаментальных
открытий, направленных на развитие представлений о строении материи, были сделаны с
использованием ионных пучков. Ионные пучки важную роль не только в исследовании
физических объектов, но и для решения многих прикладных задач.
С помощью высокотехнологичного научно-исследовательского оборудования, сотрудники
коллектив заявителей стремятся улучшить свойства обычных материалов и разрабатывать новые.
Это формирует предпосылки для создания инновационных продуктов, усовершенствует подходы
и методы, используемые в промышленности, и помогает сохранить уровень нашей жизни и в
будущем.
Россия - это страна с великим разнообразием природных ресурсов. Но мы зависим от
импорта высокотехнологичной продукции. Как тогда, мы сможем удовлетворить наши
долгосрочные потребности в стратегически важных материалах? С помощью ионно-пучковых
методик можно заниматься конструированием инновационных материалов, необычных
лекарственных средств и приборов. Ионно-пучковые методы являются эффективным способом
управления свойствами различных структур. Кроме того, эффективность разработок
перспективных материалов, наряду с развитием методов их синтеза, в значительной мере
определяется набором методов диагностики их свойств. Методы ионно-пучкового анализа (ИПА
или IonBeamAnalysis, IBA) позволяют определять распределение концентрации элементов и
степень дефектности кристаллической структуры с уникальным разрешением.Анализ
возможности проведения исследований и модификации покрытий с применением ионно-
пучковых технологий в России показывает полное отсутствие таких предложений на современном
уровне и в разумные сроки выполнения проекта, при наличии высокой заинтересованности
исследовательских лаборатории и промышленных компанийвтакого рода исследованиях. Вот
почему необходимо создание объединенного центра, на основе существующих и развивающихся
ионно-пучковых возможностей заявителей в Москве, Ярославле и Калининграде. Задача
заключается в обеспечении новыми технологиями, создании структур с уникальными свойствами
и исследовании уже существующих материалов с помощью ионно-пучковых методов. Создание
такого центра позволит сохранить и развить существующие ускорительные центры, расширить
применимость ионно-пучковых методик анализа и модификации покрытий для
исследовательских и промышленных задач, а так же создать конкурентоспособный на мировом
рынке инновационный исследовательский центр.В долгосрочной перспективе созданные
подходы и уникальные материалы, будут не только эффективными и экологически приемлемыми,
но и экономически выгодными.

3. Что ваша компания собирается делать/производить?:
Предлагается создать объединенный центр по созданию,модификации и исследованию
различных материалов с помощью ионно-пучковых технологий на современном уровне в
кратчайшие сроки.
На начальном этапе предлагается создание такого центра на основе: НИИ ядерной физики
имени Д.В. Скобельцына МГУ (НИИЯФ МГУ, г. Москва), Институт микроэлектроники и
информатики РАН (г. Ярославль) и Балтийский федеральный университет имени Канта (БФУ им. И.
Канта, г. Калининград). Данные научные центры обладают или планируют запустить в ближайшее
время набор ионно-пучковых методик для анализа и модификации покрытий. Такой
объединенный центр позволит:
1. Создать единую и бесперебойную систему по исследованию и модификации покрытий с
применением ионно-пучковых методик на основе трех ускорительных комплексов
(НИИЯФ МГУ, Институт микроэлектроники в Ярославле и БФУ им. И. Канта в Калининграде)
2. Покрыть весь диапазона энергий ионного облучения, актуальный для современных задач
микро и наноэлектроники (от сотен эВ до 2000кэВ) для проведения исследовательских и
коммерческих проектов;
3. Проводить эксперименты по ионному облучению и исследованиюin-situ, в том числе и в
промышленных масштабах;
4. Объединить потенциал специалистов и оборудования трех исследовательских комплексов
для проведения ионной бомбардировки и исследований при различных параметрах
облучения, а так же быстрой консультации специалистов внутри объединенного
коллектива по проблемам возникающим при работе на ускорителе;
Как проблема решается сейчас без вашего продукта?:
Создание новых материалов ведется с помощью механических, химических методов, а
также методами не позволяющими контролировать происходящие процессы, при этом возникают
огромные трудности. Использование уникальных ионно-пучковых методов позволит решить эти
проблемы. Однако, в связи с практически полным отсутствием исследовательской технической
базы, создание таких устройств с помощью ионно-пучковых методов в нашей стране ведется либо
на морально устаревших установках, либо с помощью зарубежных партнеров
Кроме того, существуют большие трудности, связанные с измерением и оценкой свойств
современных материалов. На сегодняшний день существует широкий спектр методик
исследованиянаноразмерных структур и объектов. Однако, в связи с минитюаризацией
элементов, многие из них имеют ряд недостатков: одни являются разрушающими, другие имеют
недостаточное разрешение. Поэтому,в ряде случаев анализ полученных структур носит
качественный или косвенных характер, что не позволяет получать достоверные сведения.
Что нового в том, что вы делаете?:
За последние 20 лет в России количество исследовательских лабораторий и центров,
применяющих для исследований и модификации покрытий дорогостоящую ускорительную
технику, резко сократилось. Создание объединенного центра ионно-пучковых технологий
позволит объединить и сохранить, а так же, что более важно, дать новый толчок к развитию
ионно-пучковых технологий и более широкому их применению в исследованиях по
инновационным направлениям развития нанотехнологий в России. Уникальные методики
исследования современных материалов, развиваемые нами, характеризует следующее:

4. Определения толщин покрытий с точность до атомного слоя;
Определение распределение концентрации элементов по глубине исследуемого
покрытия;
Возможность детектирования и определение концентрации всех элементов (вполь до
водорода) с высокой точностью.
Неразрушающие методики анализа
Кто ваши потребители? Как вы оцениваете свой потенциальный рынок? Какую долю вы
планируете занять на этом рынке?:
1. Научно-исследовательские и аналитические лаборатории и компании в России и мире;
2. Промышленно-производственные компании элементов микро- и нано- электроники;
Как вы собираетесь зарабатывать деньги? Когда вы планируете сделать первые продажи
вашего продукта?:
Компания в настоящий момент уже вышла на рынок как исследовательская лаборатория
ионно-пучковыхнанотехнологий. Заинтересованность исследовательских лаборатории и
промышленных компанийв созданиии, модификации и иисследовании современных материалов
с применением ионно-пучковых методик на коммерческой основе демонстрируется успешным
опытом выполнения коммерческих контрактов уже на протяжении более 2 лет.лабораторией
ионно-пучковых нанотехнологий НИИ ядерной физики имени Д.В. Скобельцына МГУ
(www.ionlab.ru).
Планируется создание объединенного ресурса по исследовательских и аналитических услуг
для коммерческих компаний. Кроме того, лаборатории объединённого центра будут
лицензированы, что позволит выдавать экспертные заключения
Кто ваши конкуренты и кто может ими стать? Кого вы больше всего боитесь?:
В России подобных центров нет и не предвидится их создание. В мире существует несколько
подобных центров:
1. Зарубежная аналогичная сеть компаний IonBeamServices (www.ion-beam-services.com),
занимающей лидирующие позиции в мире по промышленной имплантации и
модификации покрытий;
2. Исследовательский центр HelmholtzZentrumDresden-Rossendorf (www.hzdr.de),
занимающего передовые позиции в мире по применению ионно-пучковых методик для
анализа покрытий.
Стоит отметить, что коллектив лаборатории в основном ориентирован на научно-
исследовательскую деятельность и не обладает навыками продвижения своего продукта. В
настоящее время привлечение заинтересованных лиц ведется через личные связи сотрудников
лаборатории и с применением, написанного коллективом сайта лаборатории (www.ionlab.ru)
Если вы уже начали работать над проектом, как долго вы им занимаетесь? Какие у проекта есть
достижения за это время?:

5. Лаборатория ионно-пучковых нанотехнологий была организована пять лет назад и
является стремительно развивающейся лабораторией отдела физики атомного ядра НИИЯФ МГУ.
Лаборатория объединила высококвалифицированных специалистов в области ионно-пучковых
исследований и модификации материалов и покрытий. Специалисты лаборатории имеют
огромный опыт проведение научно-исследовательских работ этих областях. Стоит отметить, что в
коллектив лабооратории входит большое количество студентов и сотрудников, продолжающих
обучение в аспирантуре или являющиеся соискателями в аспирантуре Физического факультета
МГУ.
Коллектив имеет множество партнеров как в россии так и зарубежом. В течении
последних лет были успешно выполнены научно-исследовательские работы по заказу от:
ОАО "Приборный завод Тензор", г.Дубна
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», г.Москва
Московский физико-технический институт (государственный университет), г.Долгопрудный
Балтийский федеральный университет имени И.Канта, г.Калининград
Химический факультет МГУ имени М.В.Ломоносова, г.Москва
Физический факультет МГУ имени М.В.Ломоносова, г.Москва
Центр коллективного пользования МГУ имени М.В. Ломоносова, г.Москва
Department of Applied Physics, Materials Innovation Institute, University of Groningen, The
Netherlands
Национальная лаборатория MDM CNR-INFM, АгратэБрианза, Италия
ЗАО "НИИ Материаловедения", г.Зеленоград
Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, г.Ярославль
Физико-технологический институт РАН, г.Москва
Российский государственный технологический институт им. К.Э.Циолковского "МАТИ",
г.Москва
Научно-производственное объединение ОАО "НПО Физика"
Институт Винча, г. Белград, Сербия
К примеру, сотрудниками лаборатории была выполнена опытно-конструкторская работа
по изготовлению и исследованию ультратонких структур кремния на сапфире с высоким
качеством кристалличности для современных задач микро и наноэлектроники. Данная работа
высоко оценена специалистами.За последние годы был введен новый экспериментальный
комплекс ионно-пучковых методик на базе ускорителя HVEE-500, а так же проведена
модернизация исследовательских методик на ускорителе AN-2500 ускорительного комплекса
НИИЯФ МГУ. Собственными силами сотрудников лаборатории были написаны пакеты программ
автоматизации экспериментов с использованием исследовательских методик и методик
модификации покрытий на введенных экспериментальных комплексах.
По вашим расчетам, сколько времени у вас займет сделать прототип? Бета-версию? Версию,
которую вы можете продавать? Ваши цели на ближайшие полгода?:
Компания в настоящий момент уже вышла на рынок как исследовательская лаборатория
ионно-пучковыхнанотехнологий. Многолетний опыт работы в НИИЯФ МГУ и высокая
компетентность сотрудников в предметной области позволили к настоящему времени накопить
больше количество партнеров. Основными задачами на ближайшее время является поиск и
заключение новых контрактов для проведения научно-исследовательских и опытно-
конструкторских работ с применением экспериментальной базы лаборатории.
Почему ваш проект будет сложно повторить кому-нибудь другому?:
1. Наличие уникального для России исследовательского оборудования;

6. 2. Дружная, опытная и высококвалифицированнаякоманда;
3. Личнаязаинтересованность сотрудников.
Сколько нужно денег на развитие вашего проекта в ближайший год?:
Модернизация укорительного парка лаборатории ионно-пучковыхнанотехнологий:
~1 000 000руб на 2013г.
Запуск ускорителя БФУ им.Канта
~3 000 000руб на 2013-2014гг.
Модернизация ускорителя Института микроэлектроники РАН
~1 500 000руб на 2013г.
Какая помощь вам нужна от Бизнес-Инкубатора МГУ?:
1. Помощь в правильном создании компании (МИП, ООО, ЗАО…);
2. Помощь в раскрутке компании (информационная поддержка, помощь в участии в
профильных конференциях и т.д.)
3. Помощь в создании современного сайта компании;
4. Финансовая помощь или поиск инвесторов;
5. Офисные помещения.
Откуда узнали об Инкубаторе МГУ?: Подписка на новости бизнес Инкубатора МГУ.