Présentation du laboratoire Microsys de l'Université de Liège au Pôle de compétitivité wallon Skywin

1. Rencontre SKYWIN – Université de Liège
Laboratoire Microsys
Directeur Scientifique – Prof. M. Kraft m.kraft@ulg.ac.be – 04 366 26 16
Responsable Opérationnel – F. Dupont fff.dupont@ulg.ac.be – 04 366 26 04

2. Exemples de projet
– Développement de microsystèmes embarqués (mesures de température, humidité,
vibration, contraintes,…) pour des applications de suivi temps réel, de health
monitoring, etc...
– Partout où la taille, le poids et la consommation sont des critères importants
– Intégration spécifique de microsystèmes (ex. composites)
– Développement de capteurs MEMS novateurs, plus sensibles et plus robustes
(accéléromètres, magnétomètres,…)
– Développement de techniques de packaging et d’interconnexion spécifiques
(température, outgassing,…) de composants existants / développés par des
partenaires / développés en interne
 Développement de produits à haute valeur ajoutée, plus fiables, plus intelligents,
plus connectés et plus « verts »
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3. Réalisations
Ultra-low power & energy harvesting
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 Système pile bouton
 43 x 21 x 2.6 [mm³]
 < 5 grammes
 Mesure accélération 100Hz
 Autonomie : > 24 heures
 Système sans pile
 60 x 40 x 5 [mm³]
 1 envoi RF par minute
 Autonomie : 92 heures
 Charge : 5 minutes au soleil
8 heures en conditions
défavorables
Projet HM+ (Sonaca)
 Système de détection des défauts d’actuation des slats
 Brevet EP2392510
 Design et tests selon RTCA DO-160

4. Offre de services aux entreprises
– Mise à disposition (avec opérateur ou non) de l’équipement (ex:
cycles thermiques, spin coating, découpe laser,…)
– Consultance en packaging et interconnexion
– Caractérisation électrique
– Analyse et simulations (électronique, thermique,…)
– Etude de faisabilité et prototypage de microsystèmes
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5. Offre d’équipements
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5
Automatic and Semi-
automatic wire bonder
SMT pick and place Flip chip bonder
UV laser
Automatic Dispenser
Scanning acoustic
microscope
Pull and shear test
Climatic chamber
Spin-coater and Litho-system
Plasma-cleaning
Pico-liter fluid dispenser
+ reflow oven, heating chamber, profilometer,
polisher, digital microscope,…
+ DAQ, MDO oscilloscope, LCR-mètre,
nanovoltmètre, sourcemeter,…
Infos complémentaires :
www.microsys.ulg.ac.be

6. Compétences et Expertise
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Micro-assembly,
interconnection
and packaging
Multiphysics
modeling
and simulation
Test and
characterization
Design and
development
4 Core Competences
Design office Clean room
Metal sheet
Zinc melted (800°C)
Electronics
ElectronicsMechanics

7. Présentation de l’équipe
Equipe multidisciplinaire internationale :
– 1 Professeur
– 2 Docteurs
– 3 Ingénieurs de recherche
– 5 Doctorants
– 1 Technicien
Projets : 11 en cours ou à venir (FEDER, Interreg, RW), budget total 5M€
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