1. 4pp ( Four Point Probe) 4 조 12042150 정주현 12055332 송용단

3. 이론

4. Correction Factor

5. 면저항

6. 응용

7. 실험 기기

8. 실험 방법

10. 2pp 에서 발생되는 문제점을 보완

11. 일반적으로 반도체 - 절연체 위에 형성된 금속박막 - 의 저항률을 측정

12. 반도체의 불순물 농도의 측정

15. 전압과 전류의 비로 저항률 계산

17. 시료의 두께 t 가 탐침사이의 거리 s 보다 매우 작은 경우 ( t <<< s ) -> Thin sheet 1) 2)

18. 1) Bulk - 전류가 퍼져나가는 면적 ( ) - 바깥쪽 두 탐침의 전류값은 각각 - 따라서 저항은 옴의 법칙에 의해 ( ) - 시료의 크기가 탐침사이의 거리에 40 배 이상이 되고 두께가 5 배 이상 이되면 교정없이 사용가능 2) Thin sheet - 전류가 퍼져나가는 면적 ( ) - 시료의 두께가 무시할수 없을만큼 커지고 시료의 크기가 유한할때 교정 이 필요함

20. 시료의 크기가 탐침사이의 40배 이하일 경우 크기에대한 factor 도 고려해야함

22. 측정된 저항률로 면저항을 측정할수 있다 .

24. N-형 반도체의 경우 : Hole 을 만드는 불순물의 농도 : Electron 을 만드는 불순물의 농도

25. 실험 기기 직류 공급장치 전압계 오븐 – 온도조절장치 오븐 - 온도조건변화

27. 이 때 샘플은 중앙에 위치하여야 한다 .

28. 샘플에 살짝 힘이 가해지도록 프로브를 접근시킨 후 고정파이프를 고정한다 .

29. 바깥쪽에 있는 두 개의 탐침은 전류계에 연결하고 , 안쪽에 있는 두개의 탐침은 직류 전압기에 연결한다 .

31. 직류 마이크로 전압계를 작동시키고 오븐의 예열을 위해 5 분간 기다린다 .

32. 전류 공급장치를 켜고 직류 마이크로 전압계가 0 점 눈금에 있는지 확인한다 . 영점 눈금에 없으면 샘플의 저항이 너무 큰 경우이므로 수치를 기록해서 0 점으로 보완하여 계산다 . 저항은 옴의 법칙으로 구할수 있다 .

34. Wait-Run 스위치를 Wait 에 놓는다 .

35. Set-Measure 스위치를 Set 에 놓고 희망하는 온도를 다이얼로 설정한다 .

36. Wait-Run 스위치를 Run 에 놓고 가열을 시작한다 .

37. Set-Measure 스위치를 Measure 에 놓고 계기반에 표시되는 온도를 주시한다 .

38. 참고문헌 & Site 1. Donald A. Neaman. Semiconductor Physics and Device. Mc Graw Hill. Chapter 4, 5. 2. http://www.fourpointprobes.com/ 3. http://midaslab.cnu.ac.kr/ 4. http://www.fpp.co.kr/

39. 감사합니다 !