SlideShare ist ein Scribd-Unternehmen logo

QDThinFilms-2.pptx

•Als PPTX, PDF herunterladen•
•
I
Inv. Ali Bakhshi

Here we were taking a deeper look at Quantum Dots and Thin films. 2023 Principles (5 sections) 1) An Introduction (History, Physics, Classifications) 2) Synthesis and coating methods (Chemical and Physical methods, Novel methods) 3) Optical properties 4) Applications (Sensors, NEMS/MEMS (NOEMS/MOEMS)) 5) Technologies and Inventions analysis

Wissenschaft
1 von 41
Presenter: Ali Bakhshi Title: Quantum dots & Thin Films 1 Day 2 B.Sc Physics Eng. Tabriz Uni. M.Sc Nano Tech. IUST Researcher IPM
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 2 ‫در‬ ‫روش‬ ‫اول‬ ‫كه‬ ‫به‬ ‫روش‬ ‫از‬ ‫باال‬ ‫به‬ ‫پايين‬ ‫مرسوم‬ ،‫است‬ ‫مواد‬ ‫حجيم‬ ‫با‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫يك‬ ‫سري‬ ‫از‬ ،‫ابزارها‬ ‫به‬ ‫مواد‬ ‫ريزتر‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫نهايت‬ ‫به‬ ‫مواد‬ ‫نانومتري‬ ‫تبديل‬ ‫‌شوند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫تغيير‬ ‫شكل‬ ‫شديد‬ ‫و‬ ‫ليتوگرافي‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫صنايع‬ ‫الكترونيك‬ ‫و‬ ‫فوتونيک‬ ‫كاربرد‬ ‫وسيعي‬ ،‫دارد‬ ‫از‬ ‫جمله‬ ‫اين‬ ‫‌ها‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫هستند‬ . ‫‌هايي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫‌بندي‬ ‫ه‬‫طبق‬ ‫قرار‬ ‫‌گيرند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫عبارتند‬ ‫از‬ ‫آلياژسازي‬ ،‫مكانيكي‬ ‫‌كاري‬ ‫ن‬‫ماشي‬ ‫در‬ ‫بعد‬ ‫ماكرو‬ ‫و‬ ‫غيره‬ . ‫‌عنوان‬ ‫ه‬‫ب‬ ‫مثال‬ ‫در‬ ‫روش‬ ‫آلياژسازي‬ ‫مكانيكي‬ ‫براي‬ ‫شروع‬ ‫فرآيند‬ ‫ساخت‬ ‫از‬ ‫پودرهاي‬ ‫ميكرومتري‬ ‫استفاده‬ ‫‌گردد‬ ‫ي‬‫م‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫ادامه‬ ‫به‬ ‫كمك‬ ‫آسياب‬ ‫مكانيكي‬ ، ‫ذرات‬ ‫پودر‬ ‫بصورت‬ ‫نانو‬ ‫ذرات‬ ‫يا‬ ‫نانوساختارها‬ ‫تبديل‬ ‫‌گردد‬ ‫ي‬‫م‬ . 1 ) ‫‌های‌باال‌به‌پایین‬ ‫ش‬‫رو‬ 2 ) ‫‌های‌میانی‬ ‫ش‬‫رو‬
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 3 ‫مقايسه‬ ‫بين‬ ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫مختلف‬ ‫سنتز‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫‌ها‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫مواد‬ ‫نانو‬ ‫با‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫به‬ ‫هم‬ ‫پيوستن‬ ‫‌هاي‬ ‫ك‬‫بلو‬ ‫سازنده‬ ‫مانند‬ ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫و‬ ‫‌ها‬ ‫ل‬‫مولكو‬ ‫و‬ ‫قرار‬ ‫دادن‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫آ‬ ‫در‬ ‫كنار‬ ‫يكديگر‬ ‫و‬ ‫يا‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫خودآرايي‬ ‫توليد‬ ‫‌گردند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫‌هاي‬ ‫ك‬‫تكني‬ ‫سل‬ - ‫ژل‬ ‫و‬ ‫‌دهي‬ ‫ب‬‫رسو‬ ‫از‬ ‫فاز‬ ‫بخار‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫‌بندي‬ ‫م‬‫تقسي‬ ‫جاي‬ ‫‌گيرند‬ ‫ي‬‫م‬ . 3 ) ‫‌های‌پایین‌به‌باال‬ ‫ش‬‫رو‬
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 4 ‫از‬ ‫اين‬ ‫روش‬ ‫‌توان‬ ‫ي‬‫م‬ ‫در‬ ‫توليد‬ ‫نانوذرات‬ ‫با‬ ‫اندازه‬ ‫يكسان‬ ‫يا‬ ‫تركيبات‬ ‫الياژي‬ ‫در‬ ‫حجم‬ ،‫زياد‬ ‫در‬ ‫توليد‬ ‫‌ها‬ ‫ت‬‫نانوكامپوزي‬ ‫در‬ ‫دماي‬ ‫پايين‬ ‫استفاده‬ ‫كرد‬ . ‫از‬ ‫اين‬ ‫رو‬ ‫در‬ ‫مقياس‬ ‫صنعتي‬ ‫‌كدام‬ ‫چ‬‫هي‬ ‫از‬ ‫‌ها‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫قادر‬ ‫به‬ ‫رقابت‬ ‫با‬ ‫روش‬ ‫سل‬ - ‫ژل‬ ‫نيستند‬ . ‫كلوئيد‬ ‫سوسپانسيوني‬ ‫است‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫آن‬ ‫فاز‬ ‫پراكنده‬ ‫شده‬ ‫‌كوچك‬ ‫ي‬‫خيل‬ ‫است‬ ( 1 - 100 ‫نانومتر‬ ) ‫به‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫گون‬ ‫كه‬ ‫نيروهاي‬ ‫جاذبه‬ ‫زمين‬ ‫قابل‬ ‫‌نظر‬ ‫ف‬‫صر‬ ‫بوده‬ ‫و‬ ‫‌ها‬ ‫ش‬‫برهمكن‬ ‫بواسطه‬ ‫نيروهاي‬ ‫ميدان‬ ‫كوتاه‬ ‫از‬ ‫قبيل‬ ‫نيروهاي‬ ‫جاذبه‬ ‫واندروالس‬ ‫و‬ ‫بارهاي‬ ‫سطحي‬ ‫انجام‬ ‫‌گيرد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫سل‬ ‫يك‬ ‫مخلوط‬ ‫كلوئيدي‬ ‫از‬ ‫ذرات‬ ‫جامد‬ ‫در‬ ‫يك‬ ‫محيط‬ ‫مايع‬ ‫است‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫اثر‬ ‫فرايندهاي‬ ‫بعدي‬ ‫مانند‬ ‫هيدروليز‬ ‫و‬ ‫تراكم‬ ‫به‬ ‫ژل‬ ‫تبديل‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫سل‬ - ‫ژل‬ 1 ) ‫مخلوط‬ ‫كردن‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫‌ماد‬ ‫ش‬‫پي‬ 2 ) ‫فرايند‬ ‫هيدروليز‬ ‫و‬ ‫تشكيل‬ ‫سل‬ 3 ) ‫تشكيل‬ ‫ژل‬ ۴ ) ‫‌آوري‬ ‫ل‬‫عم‬ ۵ ) ‫‌كردن‬ ‫ك‬‫خش‬ ۶ ) ‫‌زدايي‬ ‫ب‬‫آ‬ ‫يا‬ ‫تثبيت‬ ‫شيميايي‬ ٧ ) ‫متراكم‬ ‫كردن‬ ‌‫سل‬ - ‫ژل‬
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 5 ‫انواع‬ ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫‌دهي‬ ‫ش‬‫پوش‬ ‫ذرات‬ ‫سل‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫بستر‬ : ‫‌وري‬ ‫ه‬‫غوط‬ : ‫سطح‬ ‫مورد‬ ‫نظر‬ ‫در‬ ‫محلول‬ ‫فرو‬ ‫برده‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫يك‬ ‫سرعت‬ ‫ثابت‬ ‫بيرون‬ ‫كشيده‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ ‫لذا‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫الي‬ ‫از‬ ‫سل‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫سطح‬ ‫وابسته‬ ‫به‬ ‫كشش‬ ‫ويسكوز‬ ‫و‬ ‫نيروهاي‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫جاذب‬ ‫‌نشيند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫‌دهي‬ ‫ش‬‫پوش‬ ‫به‬ ‫روش‬ ‫چرخشي‬ : ‫محلول‬ ‫سل‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫بستر‬ ‫طي‬ ‫انجام‬ ‫چرخش‬ ‫پخش‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ ‫مراحل‬ ‫فرايند‬ : ‫ريختن‬ ‫سل‬ ‫بروي‬ ‫مركز‬ ،‫زيراليه‬ ‫چرخش‬ ،‫سريع‬ ‫كاهش‬ ‫چرخش‬ ‫و‬ ‫تبخير‬ . ‌‫سل‬ - ‫ژل‬ https://doi.org/10.2478/s11696-012-0144-4 https://doi.org/10.1016/j.sbsr.2017.11.008
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 6 ‫سنتز‬ ‫و‬ ‫‌دهي‬ ‫ش‬‫پوش‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫بستر‬ : ‫اسپري‬ ‫كردن‬ : ‫ذرات‬ ‫بسيار‬ ‫ريز‬ ‫پراكنده‬ ‫محلول‬ ،‫سل‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫بستر‬ ‫پاشيده‬ ‫‌شوند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫سل‬ - ‫ژل‬ https://doi.org/10.1002/adfm.202008601 ‫سنتز‌رنگ‌خودرو‌برپايه‌کريستال‌فوتونی‬ ‫اسپری‬ ‫پالسما‬ ‫اسپری‬ ‫انفجاری‬ ‫اسپری‬ ‫قوس‬ ‫سيم‬ ‫اسپری‬ ‫شعله‬ ‫اسپری‬ ‫پوشش‬ ‫اکسيژن‬ - ‫سوخت‬ ‫با‬ ‫سرعت‬ ‫باال‬ (HVOF) ‫سوخت‬ ‫هوا‬ ‫با‬ ‫سرعت‬ ‫باال‬ (HVAF) ‫اسپری‬ ‫گرم‬ ‫اسپری‬ ‫سرد‬
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 7 ‫واكنش‬ ‫شيميايي‬ ‫است‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫آن‬ ‫‌ماده‬ ‫ش‬‫پي‬ ‫مورد‬ ‫نظر‬ ‫با‬ ‫رسيدن‬ ‫به‬ ‫دماي‬ ‫مشخص‬ ‫تحت‬ ‫تخريب‬ ‫قرار‬ ‫گرفته‬ ‫و‬ ‫به‬ ‫تركيب‬ ‫جامد‬ ‫تبديل‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ ‫و‬ ‫مواد‬ ‫زائد‬ ‫آن‬ ‫تبخير‬ ‫و‬ ‫يا‬ ‫حذف‬ ‫‌گردند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫اين‬ ‫فرآيند‬ ‫با‬ ‫نام‬ ‫پيروليز‬ ( Pyrolysis ) ‫و‬ ‫گاه‬ ‫گرماكافت‬ ( Thermolysis ) ‫نيز‬ ‫شناخته‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫اين‬ ‫روش‬ ‫يكي‬ ‫از‬ ‫‌ترين‬ ‫ي‬‫قديم‬ ‫‌ها‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫در‬ ‫تبديل‬ ‫مواد‬ ‫به‬ ‫اجزاء‬ ‫سازنده‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫آ‬ ‫‌باشد‬ ‫ي‬‫م‬ ‫براي‬ ‫مثال‬ ‫توليد‬ ‫آهك‬ ‫از‬ ‫سنگ‬ ‫آهك‬ ، ‫در‬ ‫فرايند‬ ‫كراكينگ‬ ‫در‬ ‫صنايع‬ ‫نفت‬ ‫و‬ ... ‫تخریب‌حرارتي‬ 𝐶𝑎𝐶𝑂3 → 𝐶𝑎𝑂 + 𝑂2 Thermal Decomposition https://doi.org/10.3390/electronics4041033 https://doi.org/10.1038/s41699-019-0096-4 MoS2 photodetectors
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 8 ‫تخریب‌حرارتي‬ Thermal Decomposition iron(III) acetylacetonate (Fe(acac)3, 99.99%), cobalt(II) acetylacetonate (Co(acac)2, 99%) Benzyl ether, ethanol, hexane Co(C5H7O2)2 + Fe(C5H7O2)3→CoFe2O4 + CH3COCH3 + CO2 cobalt ferrite nanoparticles photocatalytic activity https://doi.org/10.1016/j.jcis.2017.12.079
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 9 ‫تخریب‌حرارتي‬ Thermal Decomposition ‫‌ترين‬ ‫ه‬‫ساد‬ ‫مثال‬ ‫از‬ ‫ساخت‬ ‫نانوذرات‬ ‫به‬ ‫روش‬ ،‫گرماكافت‬ ‫ساخت‬ ‫نانوذرات‬ ‫نقره‬ ‫از‬ ‫رسوب‬ AgOH ‫است‬ . ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫پرتو‬ ‫ليزر‬ CO2 ‫در‬ ‫تخريب‬ ‫‌ها‬ ‫ل‬‫كربوني‬ ‫بسيار‬ ‫موثر‬ ‫‌باشد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫کربونيل‬ ‫کبالت‬ ‫در‬ ‫دمای‬ 130 - 170 ‫درجه‬ ‫‌گراد‬ ‫ي‬‫سانت‬ ‫تحت‬ ‫اتمسفر‬ ‫‌اثر‬ ‫ي‬‫ب‬ ‫در‬ ‫دكالين‬ ‫يا‬ ‫اتيلن‬ ‫گيكول‬ ‫تخريب‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ ‫و‬ ‫ذراتي‬ ‫با‬ ‫اندازه‬ ‫حدوده‬ 45 ‫نانومتر‬ ‫ايجاد‬ ‫‌كند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫نانوذرات‬ ‫اكسيد‬ ‫نيكل‬ ‫از‬ ‫طريق‬ ‫اتميزه‬ ‫كرده‬ ‫‌ماده‬ ‫ش‬‫پي‬ ‫و‬ ‫پيروليز‬ ‫و‬ ‫درنهايت‬ ‫احيا‬ ‫در‬ ‫كوره‬ ‫در‬ ‫دماي‬ 500 ‫درجه‬ ‫‌گراد‬ ‫ي‬‫سانت‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫ويفر‬ ‫سيليكوني‬ ‫ايجاد‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . https://doi.org/10.1016/B978-0-12-815749-7.00007-4 laser pyrolysis
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 10 ‌‫آلیاژسازي‬ ‫مكانیكي‬ :(Mechanical Alloying) ‫آلياژسازي‌مكانيكي‬ ‫فرايندي‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫آن‬ ‫از‬ ‫مخلوط‬ ‫دو‬ ‫يا‬ ‫چند‬ ‫پودر‬ ‫مختلف‬ ‫استفاده‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . :)Mechanical Milling) ‫آسياكاري‌مكانيكي‌و‌يا‌سايش‌مكانيكي‬ ‫فرايندي‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫آن‬ ‫پودرهاي‬ ‫مورد‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫نظر‬ ‫تركيب‬ ‫شيميايي‬ ‫همگن‬ ‫باشند‬ . :)Reaction Milling( : ‫آسياكاري‌واكنشي‌يا‌شيميايي‬ ‫فرايندی‬ ‫كه‬ ‫يك‬ ‫واكنش‬ ‫شيميايي‬ ‫بين‬ ‫ذرات‬ ‫پودر‬ ‫اوليه‬ ‫و‬ ‫اتمسفر‬ ‫محفظه‬ ‫اسيا‬ ‫و‬ ‫يا‬ ‫بين‬ ‫اجزا‬ ‫مخلوط‬ ‫پودر‬ ‫اوليه‬ ‫رخ‬ ‫دهد‬ . :)Cryogenic milling) ‫آسياكاري‌تبريدي‬ ‫در‬ ‫مواردي‬ ‫كه‬ ‫آلياژسازي‬ ‫مكانيكي‬ ‫در‬ ‫دماهاي‬ ‫پايين‬ ‫و‬ ‫يا‬ ‫در‬ ‫محيط‬ ‫نيتروژن‬ ‫مايع‬ ‫انجام‬ ‫شود‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 11 ‌‫آلیاژسازي‬ ‫مكانیكي‬ (SPEX) ‌‫‌اي‬ ‫ه‬‫آسياب‌گلول‬ ‫ارتعاشي‬ ‌‫حجم‌محفظه‌در‌اين‌نوع‌اسيا‌بسيار‌كم‬ ( 10 ‫‌ليتر‬ ‫ي‬‫ميل‬ ) ‌‫بوده‬ ‌‫و‌محتويات‬ ‌‫آن‌در‌سه‌جهتت‬ ‌‫عمود‌برهم‌با‌سرعت‌بسيار‌باال‬ ‌‫حتدود‬ 1200 ‌‫‌نوسان‬‫‌دقيقه‬‫‌در‬‫دور‬ ‫‌كند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫سرعت‬ ‌‫‌ها‬ ‫ه‬‫گلول‬ ‌‫در‌اين‌روش‬ ‌‫به‌حدود‬ 5 ‌‫متر‌بر‌ثانيه‬ ‌‫‌رسد‬ ‫ي‬‫م‬ ‌‫تروي‬ ‫تذا‌نيت‬ ‫لت‬ ‌‫تاده‬ ‫‌العت‬ ‫ق‬‫فو‬ ‌‫تادي‌از‬ ‫زيت‬ ‌‫ترف‬ ‫طت‬ ‌‫‌ها‬ ‫ه‬‫گلول‬ ‌‫بر‌پودرها‌وارد‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . (Planetary Ball Mill) ‫‌اي‬ ‫ه‬‫‌اي‌سيار‬ ‫ه‬‫اسياب‌گلول‬ ‌‫حجم‌محفظه‌اين‌نوع‌اسيا‌بتين‬ 45 ‌‫تتا‬ 500 ‫‌ليتر‌متغير‌است‬ ‫ي‬‫ميل‬ . ‌‫در‌اين‌اسيا‌صفحه‌دوار‌در‌يك‌جهت‌چرخيده‬ ‌‫و‌محفظه‌براساس‬ ‌‫مكانيزمي‌در‌جهت‌خالف‌حركت‬ ‌،‫صفحه‌دوار‬ ‌‫حركت‌دوراني‬ ‌‫انجام‬ ‫‌دهد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫لذا‬ ‌‫در‌اثر‌نيروي‌گريز‌از‌مركتز‌ايجتاد‬ ‌‫شتده‬ ‌‫خردايش‬ ‌‫پودرها‌انجام‬ ‫‌گيرد‬ ‫ي‬‫م‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 12 ‌‫آلیاژسازي‬ ‫مكانیكي‬ (Attrition Mill) ‌‫اسياكاري‬ ‌‫‌اي‬ ‫ه‬‫گلول‬ ‫فرسايشي‬ ‫اين‬ ‫‌ها‬ ‫ب‬‫اسيا‬ ‫قادر‬ ‫به‬ ‫اسياب‬ ‫مقادير‬ ‫زيادي‬ ‫پودر‬ ‫در‬ ‫حدود‬ 0.5 ‫تا‬ 40 ‫كيلوگرم‬ ‫در‬ ‫يك‬ ‫مرحله‬ ‫‌باشند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫در‬ ‫اسياب‬ ‫فرسايشي‬ ‫كه‬ ‫متشكل‬ ‫از‬ ‫يك‬ ‫محفظه‬ ‫عمودي‬ ‫با‬ ‫‌هايي‬ ‫ه‬‫پر‬ ‫در‬ ‫داخل‬ ‫آن‬ ‫‌باشد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫اين‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫پر‬ ‫در‬ ‫زاويه‬ 90 ‫درجه‬ ‫به‬ ‫صورت‬ ‫سري‬ ‫نسبت‬ ‫به‬ ‫هم‬ ‫قرار‬ ‫‌اند‬ ‫ه‬‫گرفت‬ ‫وظيفه‬ ‫انتقال‬ ‫انرژي‬ ‫به‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫گلول‬ ‫را‬ ‫دارند‬ . ‫اسيا‬ ‫افقي‬ ‫غلتان‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫گلول‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫اسياب‬ ‫محفظه‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫استوان‬ ‫افقي‬ ‫حول‬ ‫محور‬ ‫مركزي‬ ‫خود‬ ‫دوران‬ ‫‌كند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫معموال‬ ‫قطر‬ ‫محفظه‬ ‫بيشتر‬ ‫از‬ ‫يك‬ ‫متر‬ ‫است‬ . ‫همزمان‬ ‫با‬ ‫دوران‬ ‫محفظه‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫گلول‬ ‫روي‬ ‫ذرات‬ ‫پودر‬ ‫ريخته‬ ‫و‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫آ‬ ‫را‬ ‫خرد‬ ‫‌كنند‬ ‫ي‬‫م‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 13 ‌‫آلیاژسازي‬ ‫مكانیكي‬ ‫دستگاه‬ ‫آسياب‬ ‫فرسايشي‬ ‫افقي‬ : ‫در‬ ‫اين‬ ‫اسياب‬ ‫سرعت‬ ‫حدودا‬ ‫سه‬ ‫برابر‬ ‫حالت‬ ‫عمودي‬ ،‫است‬ ‫امكان‬ ‫كنترل‬ ‫دقيق‬ ‫اتمسفر‬ ‫و‬ ‫خال‬ ‫وجود‬ ،‫دارد‬ ‫ابزار‬ ‫الزم‬ ‫جهت‬ ‫كنترل‬ ‫سرد‬ ‫و‬ ‫گرم‬ ‫كردن‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫‌ها‬ ‫ب‬‫اسيا‬ ‫وجود‬ ‫دارد‬ ‫و‬ ‫ناحيه‬ ‫مرده‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫اسياب‬ ‫حذف‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ ، ‫ظرفيت‬ ‫آن‬ ‫از‬ 0.5 ‫تا‬ 900 ‫ليتر‬ ‫قابل‬ ‫تغيير‬ ‫است‬ ‫و‬ ‫به‬ ‫صورت‬ ‫بسته‬ ‫و‬ ‫نيمه‬ ‫پيوسته‬ ‫‌توان‬ ‫ي‬‫م‬ ‫آن‬ ‫را‬ ‫عملياتي‬ ‫كرد‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 14 ‌‫آلیاژسازي‬ ‫مكانیكي‬ ‫مكانيزم‬ ‫تغيير‬ ‫شكل‬ ‫پودرها‬ ‫و‬ ‫انجام‬ ‫الياژسازي‬ : ‫در‬ ‫حالت‬ ‫كلي‬ ‫ذرات‬ ‫نرم‬ ‫در‬ ‫اثر‬ ‫ضربات‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫گلول‬ ‫پهن‬ ‫و‬ ‫ذرات‬ ‫ترد‬ ‫شكسته‬ ‫‌شوند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫تغيير‬ ‫شكل‬ ‫پالستيك‬ ‫ذرات‬ ‫پودر‬ ‫در‬ ‫نتيجه‬ ،‫ضربات‬ ‫منجر‬ ‫به‬ ‫كار‬ ‫سخت‬ ‫و‬ ‫شكست‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫آ‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫سطوح‬ ‫جديد‬ ‫عامل‬ ‫جوش‬ ‫خوردن‬ ‫ذرات‬ ‫به‬ ‫يكديگر‬ ‫و‬ ‫ايجاد‬ ‫ذرات‬ ‫‌تر‬ ‫گ‬‫بزر‬ ‫هستند‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 15 ‌‫آلیاژسازي‬ ‫مكانیكي‬ ‫عوامل‬ ‫موثر‬ ‫بر‬ ‫تشكيل‬ ‫مواد‬ ‫جديد‬ : 1 ) ‫دما‬ ‫اگر‬ ‫دما‬ ‫باال‬ ‫باشد‬ ‫تحرك‬ ‫اتمي‬ ‫افزايش‬ ‫يافته‬ ‫در‬ ‫نتيجه‬ ‫فرايندهايي‬ ‫مثل‬ ‫تبلور‬ ‫مجدد‬ ‫افزايش‬ ‫‌يابند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫افزايش‬ ‫دما‬ ‫به‬ ‫دو‬ ‫دليل‬ ‫‌تواند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫اتفاق‬ ‫بيافتد‬ : ‫يكي‬ ‫ناشي‬ ‫از‬ ‫افزايش‬ ‫انرژي‬ ‫جنبشي‬ ‫زياد‬ ‫اجزاي‬ ‫اسيا‬ ( ‫اصطكاك‬ ‫حين‬ ‫برخوردها‬ ‫و‬ ‫تغيير‬ ‫شكل‬ ‫پالستيكي‬ ‫موضعي‬ ) ‫و‬ ‫دوم‬ ‫امكان‬ ‫انجام‬ ‫واكنش‬ ‫گرمازا‬ . 2 ) ‫تاثير‬ ‫اندازه‬ ‫بلور‬ ‫با‬ ‫افزايش‬ ‫مرز‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫دان‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫حالت‬ ‫ميزان‬ ‫نفوذ‬ ‫‌العاده‬ ‫ق‬‫فو‬ ‫افزايش‬ ‫يافته‬ ‫به‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫گون‬ ‫كه‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫شبك‬ ‫پيوسته‬ ‫از‬ ‫مسيرهاي‬ ‫نفوذي‬ ‫كوتاه‬ ‫فراهم‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫عالوه‬ ‫بر‬ ‫اينكه‬ ‫در‬ ‫اندازه‬ ‫كمتر‬ ‫تغييرات‬ ‫در‬ ‫پارامتر‬ ‫شبكه‬ ‫بيشتر‬ ‫است‬ . 3 ) ‫ساختار‬ ‫بلوري‬ ‫بسته‬ ‫به‬ ‫فشردگي‬ ‫شبكه‬ ‫نفوذپذيري‬ ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫بخصوص‬ ‫‌هاي‬ ‫م‬‫ات‬ ‫بين‬ ‫نشيني‬
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 16 ‫نشست‬ ‫بخار‬ ‫شيميايي‬ CVD ‫اولين‬ ‫بار‬ ‫در‬ ‫سال‬ 1880 ‫به‬ ‫منظور‬ ‫پوشش‬ ‫‌هاي‬ ‫ن‬‫فيالما‬ ‫مورد‬ ‫استفاده‬ ‫در‬ ‫‌هاي‬ ‫پ‬‫الم‬ ‫روشنايي‬ ‫مورد‬ ‫استفاده‬ ‫قرار‬ ‫گرفت‬ . ‫در‬ ‫اين‬ ‫روش‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫‌ماد‬ ‫ش‬‫پي‬ ‫تبخير‬ ‫شده‬ ‫و‬ ‫وارد‬ ‫راكتور‬ ‫‌شوند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫نهايت‬ ‫جذب‬ ‫سطح‬ ‫‌گردند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫‌ها‬ ‫ل‬‫مولكو‬ ‫در‬ ‫سطح‬ ‫تحت‬ ‫يكي‬ ‫از‬ ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫واكن‬ ‫مثل‬ ‫پيروليز‬ ، ‫اكسيداسيون‬ ، ‫احيا‬ ‫يا‬ ‫واكنش‬ ‫با‬ ‫گازهاي‬ ‫ديگر‬ ‫فيلم‬ ‫جامدي‬ ‫را‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫بستر‬ ‫ايجاد‬ ‫‌كنند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‬ ‫نشاني‬ Catalytic Synthesis of Carbon Nanotubes and Nanofibers
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 17 ‫نشست‬ ‫بخار‬ ‫شيميايي‬ CVD ‫مباني‬ ‫نشست‬ ‫شيميايي‬ ‫بخار‬ : ‫اين‬ ‫فرايند‬ ‫شامل‬ ‫سه‬ ‫مرحله‬ ‫است‬ : 1 ) ‫انتقال‬ ‫واكنش‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫دهند‬ ‫به‬ ‫سطح‬ ‫بستر‬ ‫از‬ ‫طريق‬ ‫يك‬ ‫اليه‬ ‫مرزي‬ ‫با‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫فرايند‬ ‫نفوذ‬ 2 ) ‫انجام‬ ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫واكن‬ ‫شيميايي‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫سطح‬ ‫بستر‬ ‫و‬ ‫تركيب‬ ‫شدن‬ ‫محصوالت‬ ‫جديد‬ ‫با‬ ‫مواد‬ ‫رشد‬ ‫يافته‬ ‫قبيل‬ 3 ) ‫حذف‬ ‫محصوالت‬ ‫گازي‬ ‫فرايند‬ ‫از‬ ‫روي‬ ‫بستر‬ ‫مراحل‬ ‫اول‬ ‫و‬ ‫سوم‬ ‫شديدا‬ ‫به‬ ‫يكديگر‬ ‫وابسته‬ ‫هستند‬ ‫و‬ ‫از‬ ‫طريق‬ ‫روابط‬ ‫استوكيومتري‬ ‫واكنش‬ ‫با‬ ‫يكديگر‬ ‫در‬ ‫ارتباط‬ ‫هستند‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‬ ‫نشاني‬ https://doi.org/10.1038/s43586-020-00005-y
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 18 ‫نشست‬ ‫بخار‬ ‫شيميايي‬ CVD ‫انواع‬ ‫سيستم‬ ‫هايي‬ ‫كه‬ ‫با‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫روش‬ ‫نشست‬ ‫شيميايي‬ ‫بخار‬ ‫نانومواد‬ ‫را‬ ‫تهيه‬ ‫‌كند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫عبارتند‬ ‫از‬ : 1 ) ‫نشست‬ ‫شيميايي‬ ‫بخار‬ - CVD 2 ) ‫تراكم‬ ‫شيميايي‬ ‫بخار‬ - CVC 3 ) ‫رسوبگيري‬ ‫ذرات‬ ‫با‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫روش‬ CVD - PPCVD 4 ) ‫نشست‬ ‫شيميايي‬ ‫بخار‬ ‫كاتاليزوري‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‬ ‫نشاني‬ https://doi.org/10.3390/mi11090799
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 19 ‫نشست‬ ‫بخار‬ ‫شيميايي‬ CVD ‫اين‬ ‫روش‬ ‫‌تواند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫تحت‬ ‫خالء‬ ‫باال‬ ‫يا‬ ‫فشار‬ ‫كم‬ ‫گاز‬ ‫‌دهنده‬ ‫ش‬‫واكن‬ ‫استفاده‬ ‫شود‬ . ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ MOCVD ‫و‬ PECVD ‫در‬ ‫دماي‬ ‫‌تر‬ ‫ن‬‫پايي‬ ‫براي‬ ‫ساخت‬ ‫‌هاي‬ ‫م‬‫فيل‬ ‫با‬ ‫كيفيت‬ ‫بهتر‬ ‫استفاده‬ ‫كرد‬ . ‫افزايش‬ ‫كرنش‬ ‫االستيك‬ ‫در‬ ‫فصل‬ ‫مشترك‬ ‫باعث‬ ‫افزايش‬ ‫انرژي‬ ‫كرنشي‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫نهايت‬ ‫عدم‬ ‫تحمل‬ ‫ان‬ ‫توسط‬ ‫زمينه‬ ‫از‬ ‫طريق‬ ‫تشكيل‬ ‫نابجايي‬ ‫و‬ ‫ازاد‬ ‫كردن‬ ‫تنش‬ ‫‌باشد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫كه‬ ‫منجر‬ ‫به‬ ‫افزايش‬ ‫در‬ ‫انرژي‬ ‫سطحي‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫نتيجه‬ ‫تضعيف‬ ‫ترشوندگي‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‬ ‫نشاني‬ metal organic chemical vapor deposition Plasma-enhanced chemical vapor deposition
‫ايده‬ ! 20 https://www.beilstein-journals.org/bjnano/articles/10/43/downloads Dichroic laser mirrors harmonic separators https://doi.org/10.1364/PRJ.411372
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 21 ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫انتقال‬ ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫و‬ ‫‌هاي‬ ‫ل‬‫مولكو‬ ‫منبع‬ ‫يا‬ ‫هدف‬ ‫با‬ ‫استفاده‬ ‫از‬ ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫مختلف‬ ‫و‬ ‫نشاندن‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫آ‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫يك‬ ‫بستر‬ ‫را‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫‌گويند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫كه‬ ‫شامل‬ ‫واكنش‬ ‫شيميايي‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫نم‬ . ‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫مختلف‬ ‫كندن‬ ‫اتم‬ ‫ها‬ ‫از‬ ‫سطح‬ ‫هدف‬ ‫شامل‬ ‫تبخير‬ ،‫حرارتي‬ ‫تبخير‬ ‫پرتو‬ ‫الكتروني‬ ، ‫كند‬ ‫و‬ ،‫پاش‬ ‫اپيتكسي‬ ‫پرتو‬ ‫مولكولي‬ ‫مي‬ ‫باشد‬ . ‫مراحل‬ ‫فرايند‬ ‫نشست‬ : 1 ) ‫جذب‬ ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫يا‬ ‫‌ها‬ ‫ل‬‫مولكو‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫سطح‬ ‫بستر‬ 2 ) ‫نفوذ‬ ‫افقي‬ ‫مواد‬ ‫جذب‬ ‫شده‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫سطح‬ 3 ) ‫تشكيل‬ ‫پيوند‬ ‫با‬ ‫يكديگر‬ ‫و‬ ‫نيز‬ ‫با‬ ‫‌هاي‬ ‫م‬‫ات‬ ‫بستر‬ 4 ) ‫‌زايي‬ ‫ه‬‫هست‬ ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫و‬ ‫متراكم‬ ‫شدن‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫آ‬ 5 ) ‫ايجاد‬ ‫ساختارهاي‬ ‫بلوري‬ ‫توسعه‬ ‫يافته‬ ‫و‬ ‫تشكيل‬ ‫ميكروساختارها‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ Physical Vapor Deposition 1 ) ‫تبخير‬ 2 ) ‫انتقال‬ ‫بخار‬ 3 ) ‫رشد‬ ‫روی‬ ‫زيراليه‬ quartz crystal microbalance (QCM) https://doi.org/10.1016/B978-0-12-818908-5.00003-2
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 22 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫روش‬ ‫تبخير‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫روش‬ ‫براي‬ ‫تبخير‬ ‫ماده‬ ‫منبع‬ ‫از‬ ‫گرم‬ ‫كردن‬ ‫مقاومتي‬ ‫هدف‬ ‫يا‬ ‫از‬ ‫انرژي‬ ‫پرتوهاي‬ ‫الكتروني‬ ‫و‬ ‫ليزري‬ ‫استفاده‬ ‫‌شود‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫اين‬ ‫روش‬ ‫‌بايست‬ ‫ي‬‫م‬ ‫تحت‬ ‫شرايط‬ ‫خالء‬ ‫انجام‬ ‫گيرد‬ . ‫با‬ ‫كنترل‬ ‫فشار‬ ‫بخار‬ ‫منبع‬ ‫‌توان‬ ‫ي‬‫م‬ ‫غلظت‬ ‫اجزا‬ ‫واكنشي‬ ‫را‬ ‫كنترل‬ ‫كرد‬ : ‫نرخ‬ ‫تبخير‬ : ‫سرعت‬ ‫رشد‬ ‫وابسته‬ ‫به‬ ‫سرعت‬ ‫تبخير‬ ‫و‬ ‫زاويه‬ ‫برخوردي‬ ‫بخار‬ ‫با‬ ‫بستر‬ ‫و‬ ‫فاصله‬ ‫منبع‬ ‫از‬ ‫بستر‬ ‫دارد‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ Tungsten (W); MP = 3380°C, P* = 10-2 torr at 3230°C Boron nitride (BN); MP = 2500°C, P* = 10-2 torr at 1600°C https://labs.ece.uw.edu/cam/tutorials/PhysicalVaporDeposition.pdf
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 23 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫روش‬ ‫تبخير‬ ‫بدست‬ ‫آوردن‬ ‫دمای‬ ‫ذوب‬ ‫و‬ ‫تبخير‬ ‫به‬ ‫کمک‬ ‫‌سازی‬ ‫ه‬‫شبي‬ ‫ديناميک‬ ‫مولکولی‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ units metal atom_style atomic boundary p p p variable a equal 4.0782 lattice fcc 4.0782 region box block 0 10 0 10 0 10 create_box 1 box create_atoms 1 box mass 1 196.97 pair_style eam pair_coeff * * Au_u3.eam minimize 1.0e-8 1.0e-8 1000 100000 min_style cg timestep 0.001 velocity all create 300.0 454883 mom yes rot yes dist gaussian thermo 50000 thermo_style custom step pe ke etotal temp vol press density atoms fix 1 all press/berendsen iso 0.0 0.0 100.0 fix 2 all nvt temp 300.00 2400.00 1.0 dump 1 all xyz 100 AuMelt.xyz run 1000000
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 24 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫اپيتكسي‬ ‫پرتو‬ ‫مولكولی‬ ‫اين‬ ‫روش‬ ‫‌عنوان‬ ‫ه‬‫ب‬ ‫يك‬ ‫حالت‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫ويژ‬ ‫از‬ ‫تبخير‬ ‫براي‬ ‫رشد‬ ‫‌هاي‬ ‫م‬‫فيل‬ ‫نازك‬ ‫‌كريستال‬ ‫ك‬‫ت‬ ‫‌باشد‬ ‫ي‬‫م‬ ‫كه‬ ‫در‬ ‫آن‬ ‫تبخير‬ ‫شديدا‬ ‫كنترل‬ ‫‌اي‬ ‫ه‬‫شد‬ ‫از‬ ‫منابع‬ ‫مختلف‬ ‫در‬ ‫خال‬ ‫بسيار‬ ‫باال‬ ‫حدود‬ 10 - 10 ‫تور‬ ‫انجام‬ ‫‌گيرد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫يا‬ ‫‌هاي‬ ‫ل‬‫مولكو‬ ‫تبخير‬ ‫شده‬ ‫از‬ ‫منابع‬ ‫مختلف‬ ‫با‬ ‫توجه‬ ‫به‬ ‫متوسط‬ ‫مسير‬ ‫پويش‬ ‫آزاد‬ ‫زياد‬ ‫در‬ ‫فشار‬ ‫بسيار‬ ‫كم‬ ‫با‬ ‫يكديگر‬ ‫اندركنش‬ ‫ندارند‬ . ‫تبخير‬ ‫توسط‬ ‫روش‬ ‫گرمايش‬ ‫مقاومت‬ ‫الكتريكي‬ ‫هر‬ ‫منبع‬ ‫به‬ ‫صورت‬ ‫جداگانه‬ ‫در‬ ‫‌هاي‬ ‫ل‬‫سلو‬ ‫خاص‬ ‫خود‬ ‫انجام‬ ‫‌گيرد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫و‬ ‫‌ها‬ ‫ل‬‫مولكو‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫سطح‬ ‫زيراليه‬ ‫‌كريستال‬ ‫ك‬‫ت‬ ‫برخورد‬ ‫كرده‬ ‫كه‬ ‫منتج‬ ‫به‬ ‫تشكيل‬ ‫فيلم‬ ‫اپيتكسيال‬ ‫مورد‬ ‫نظر‬ ‫‌شوند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ Molecular Beam Epitaxy Reflection high-energy electron diffraction (RHEED) Spin phenomena in semiconductor quantum dots
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 25 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫كند‬ ‫و‬ ‫پاش‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫روش‬ ‫در‬ ‫اثر‬ ‫برخورد‬ ‫‌هاي‬ ‫ن‬‫يو‬ ‫پر‬ ‫انرژي‬ ‫به‬ ‫سطح‬ ،‫هدف‬ ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫يا‬ ‫‌ها‬ ‫ل‬‫مولكو‬ ‫از‬ ‫سطح‬ ‫كنده‬ ‫شده‬ ‫و‬ ‫به‬ ‫سمت‬ ‫بيرون‬ ‫از‬ ‫هدف‬ ‫پرتاب‬ ‫‌شوند‬ ‫ي‬‫م‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫ادامه‬ ‫‌نشاني‬ ‫ه‬‫الي‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫آ‬ ‫بر‬ ‫روي‬ ‫سطح‬ ‫يك‬ ‫زيراليه‬ ‫انجام‬ ‫‌گيرد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫ابتدا‬ ‫فشار‬ ‫اوليه‬ ‫محفظه‬ ‫كندوپاش‬ ‫به‬ 6 - 10 ‫تا‬ 10 - 10 ‫‌رسد‬ ‫ی‬‫م‬ . ‫سپس‬ ‫براي‬ ‫فراهم‬ ‫كردن‬ ‫يون‬ ‫و‬ ‫توليد‬ ،‫پالسما‬ ‫گازي‬ ‫مانند‬ ‫آرگون‬ ‫به‬ ‫داخل‬ ‫محفظه‬ ‫تزريق‬ ‫شده‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫نتيجه‬ ‫فشار‬ ‫به‬ 1 ‫تا‬ 100 ‫تور‬ ‫افزايش‬ ‫‌يابد‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫با‬ ‫تخليه‬ ‫الكتريكي‬ ، ‫الكترون‬ ‫به‬ ‫‌هاي‬ ‫م‬‫ات‬ ‫گاز‬ ‫برخورد‬ ‫كرده‬ ‫و‬ ‫اين‬ ‫‌ها‬ ‫م‬‫ات‬ ‫به‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫الكترو‬ ‫با‬ ‫بار‬ ‫منفي‬ ‫و‬ ‫‌ها‬ ‫ن‬‫يو‬ ‫با‬ ‫بار‬ ‫مثبت‬ ‫تجزيه‬ ‫‌شوند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‫در‬ ‫اثر‬ ‫برخورد‬ ‫‌هاي‬ ‫ن‬‫يو‬ ‫مثبت‬ ‫با‬ ‫هدف‬ ‫‌هاي‬ ‫م‬‫ات‬ ‫سطحي‬ ‫كنده‬ ‫شده‬ ‫و‬ ‫به‬ ‫سمت‬ ‫زيراليه‬ ‫حركت‬ ‫‌كند‬ ‫ي‬‫م‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ Sputtering
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 26 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫به‬ ‫فرايند‬ ‫انتقال‬ ‫الگوهای‬ ‫هندسی‬ ‫‌ها‬ ‫ک‬‫ماس‬ ، ‫بر‬ ‫روی‬ ‫اليه‬ ‫نازکی‬ ‫از‬ ‫ماده‬ ‫حساس‬ ‫به‬ ‫نور‬ ( Resist ) ‫که‬ ‫سطح‬ ‫ويفر‬ ‫‌هادی‬ ‫ه‬‫نيم‬ ‫را‬ ‫پوشانده‬ ،‫است‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫‌گويند‬ ‫ی‬‫م‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://ipo.lbl.gov/lbnl1997/ sub 10 nm 7×108 nanowires on a 4 inch silicon
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 27 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫نوری‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ ‫نور‬ ‫فرابنفش‬ ‫با‬ ‫طول‬ ‫موج‬ ‫در‬ ‫محدوده‬ ۱۹۳-۴۳۶ ‫نانومتر‬ https://nanoclub.ir/index.php/articles/%D9%84%DB%8C%D8% AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C ‌‫هدف‬ : ‫‌هايی‬ ‫ح‬‫طر‬ ‌‫با‌رزولوشن‌باال‌به‬ ‫ابعاد‌چند‌ده‌نانومتر‬
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 28 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫باريکه‬ ‫الکترونی‬ ‫و‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫باريکه‬ ‫يونی‬ ‫متمرکز‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://nanoclub.ir/index.php/articles/%D9%84%DB%8C%D8% AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C ‫رزيست‌حساس‌به‌الکترون‬ ‌،‫‌دهی‌موادی‌مانند‌تنگستن‬ ‫ب‬‫رسو‬ ‌‫پالتين‌و‌کربن‬ ‫رزولوشن‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫باريکه‬ ‫الکترونی‬ ‫و‬ ‫باريکه‬ ‫يونی‬ ‫متمرکز‬ ‫بين‬ ۵ ‫تا‬ ۲۰ ‫نانومتر‬ ‫است‬ . ‫اين‬ ‫رزولوشن‬ ‫باال‬ ‫‌ی‬ ‫ه‬‫نتيج‬ ‫طول‬ ‫موج‬ ‫کم‬ ‫الکترون‬ ‫و‬ ‫پرتو‬ ‫يونی‬ ‫‌باشد‬ ‫ی‬‫م‬ . http://dx.doi.org/10.4186/ej.2012.16.1.37
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 29 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫نرم‬ ‫و‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫با‬ ‫مهر‬ ‫زدن‬ ‫در‬ ‫ابعاد‬ ‫نانو‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://nanoclub.ir/index.php/articles/%D9%84%DB%8C%D8% AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C ‫‌ها‬ ‫ل‬‫قالب‌پليمری‌نرم‌برای‌مهر‌زدن‌محلولی‌از‌مولکو‬ ( ‫جوهر‬ ) ‫روی‌يک‌زيراليه‬ ‌‫مواد‌ارزان‬ ‫قيمت‬ ‌‫قالب‌کوارتز‬ ‫و‌سيليکون‬ ‫پليمر‬ ‫ترموپالست‬ ‫تا‬ ‫باالی‬ ‫دمای‬ ‫انتقال‬ ‫‌ای‬ ‫ه‬‫شيش‬ ‫ليتوگرافی‌نرم‬ ‌‫ليتوگرافی‬ ‫مهرزنی‬
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 30 ‫انواع‬ ‫نشست‬ ‫فيزيكي‬ ‫بخار‬ ‫ليتوگرافی‬ ‫پروبی‬ ‫روبشی‬ ‫گرم‬ ،‫کردن‬ ‫خراش‬ ،‫دادن‬ ‫اکسيد‬ ‫کردن‬ ‫و‬ ‫انتقال‬ ‫مواد‬ ‫به‬ ‫سطح‬ ‫زيراليه‬ ‫با‬ ‫نوک‬ ‫تيز‬ ‫ميکروسکوپ‬ ‫نيروی‬ ‫اتمی‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://nanoclub.ir/index.php/articles/%D9%84%DB%8C%D8% AA%D9%88%DA%AF%D8%B1%D8%A7%D9%81%DB%8C ‌‫نوک‌ميکروسکوپ‌توسط‌مواد‌شيميايی‌پوشانده‬ ‫‌شود‬ ‫ی‬‫م‬ . ‌‫‌ها‬ ‫ل‬‫مولکو‬ ‌،‫هنگام‌تماس‌نوک‌پوشش‌داده‌شده‌و‌زيراليه‬ ‫رسوبدهی‬ ‫‌شوند‬ ‫ی‬‫م‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 31 ‫آندايز‬ ‫يک‬ ‫فرآيند‬ ‫الکتروشيميايی‬ ‫است‬ . ‫برای‬ ‫افزايش‬ ‫ضخامت‬ ‫اليه‬ ‫اکسيدی‬ ‫که‬ ‫به‬ ‫صورت‬ ‫طبيعی‬ ‫بر‬ ‫روی‬ ‫سطح‬ ‫فلزات‬ ‫تشکيل‬ ،‫‌شود‬ ‫ی‬‫م‬ ‫‌کار‬ ‫ه‬‫ب‬ ‫‌رود‬ ‫ی‬‫م‬ . ‫اين‬ ‫فرآيند‬ ‫بر‬ ‫روی‬ ‫برخی‬ ‫از‬ ‫فلزات‬ ‫مانند‬ ‫تيتانيوم‬ ، ،‫روی‬ ‫تنگستن‬ ‫و‬ ‫آلومينيوم‬ ‫قابل‬ ‫انجام‬ ‫است‬ ‫؛‬ ‫اما‬ ‫فلزات‬ ‫ديگر‬ ‫مانند‬ ‫آهن‬ ‫و‬ ‫فوالد‬ ‫را‬ ‫‌توان‬ ‫ی‬‫نم‬ ‫به‬ ‫دليل‬ ‫‌شدن‬ ‫ه‬‫‌ورق‬ ‫ه‬‫ورق‬ ‫در‬ ‫حين‬ ،‫فرآيند‬ ‫آندايز‬ ‫کرد‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://doi.org/10.3390/ma4030487
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 32 ‫آندايز‬ ‫توليد‬ ‌ ‫ه‬‫الي‬ ‫اکسيدی‬ ‫متخلخل‬ 1 ) ‫آندايز‬ ‫‌شده‬ ‫ت‬‫هداي‬ ‫با‬ ‫‌الگو‬ ‫ش‬‫پي‬ pre-patterned guided anodization process- ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://doi.org/10.3390/ma4030487 ‫قبل‬ ‫از‬ ‫فرايند‬ ،‫آندايز‬ ‫الگويی‬ ‫را‬ ‫بر‬ ‫روی‬ ‫سطح‬ ‫صيقلی‬ ‫فلز‬ ‫‌نظر‬ ‫د‬‫مور‬ ‫ايجاد‬ ‫‌کنند‬ ‫ی‬‫م‬ ‫تا‬ ‫‌های‬ ‫ه‬‫‌حفر‬ ‫و‬‫نان‬ ‫حاصل‬ ‫از‬ ‫فرايند‬ ،‫آندايز‬ ‫نظم‬ ‫‌آلی‬ ‫ه‬‫ايد‬ ‫به‬ ‫خود‬ ‫بگيرند‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 33 ‫آندايز‬ ‫توليد‬ ‌ ‫ه‬‫الي‬ ‫اکسيدی‬ ‫متخلخل‬ 2 ) ‫آندايز‬ ‫‌شده‬ ‫ی‬‫خودآراي‬ self-organized anodization process- ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://doi.org/10.1021/cr500002z ‌‫‌ای‌از‬ ‫ه‬‫آراي‬ ‫‌های‬ ‫ه‬‫نانوحفر‬ ‫‌ای‬ ‫ه‬‫استوان‬ ‌‫شکل‬ ‫‌وجود‬ ‫ه‬‫ب‬ ‌‫‌آيد‌که‬ ‫ی‬‫م‬ ‫هرکدام‬ ‌‫از‬ ‌‫اين‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫استوان‬ ‌‫در‌مرکز‌يک‌سلول‬ ‫‌گوش‬ ‫ش‬‫ش‬ ‫قرار‌دارد‬ . current lines and potential distribution Flow velocity vectors and mean stress
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 34 ‫آندايز‬ ‫توليد‬ ‌ ‫ه‬‫الي‬ ‫اکسيدی‬ ‫متخلخل‬ ‫ساخت‬ ‫ساختار‬ ‫سه‬ ‫بعدی‬ ! ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ https://doi.org/10.3390/mi12060589
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 35 ‫‌های‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫ميکروامولسيون‬ ‫و‬ ‫مايسل‬ ‫معکوس‬ ‫‌ها‬ ‫ل‬‫مايس‬ ‫‌ترين‬ ‫ه‬‫ساد‬ ‫نانوراکتورهای‬ ‫مولکولی‬ ‫هستند‬ ‫که‬ ‫حاصل‬ ‫از‬ ‫خودآرايی‬ ‫‌های‬ ‫ل‬‫مولکو‬ ‫فعال‬ ‫سطحی‬ ( ‫‌ها‬ ‫ت‬‫سورفکتان‬ ) ‫در‬ ‫فصل‬ ‫مشترک‬ ‫فاز‬ ‫آبی‬ ‫و‬ ‫فاز‬ ‫آلی‬ ‫هستند‬ . ‫‌ها‬ ‫ن‬‫ميکروامولسيو‬ ‫‌های‬ ‫ط‬‫مخلو‬ ‫همگن‬ ‫و‬ ‫‌توزيعی‬ ‫ک‬‫ت‬ ‫از‬ ‫‌هاست‬ ‫ل‬‫مايس‬ ‫که‬ ‫با‬ ‫‌کردن‬ ‫ط‬‫مخلو‬ ‫فاز‬ ‫آلی‬ ( ‫روغنی‬ ) ، ‫فاز‬ ‫آبی‬ ‫و‬ ‫‌ها‬ ‫ه‬‫‌کنند‬ ‫ر‬‫پايدا‬ ( ‫‌ها‬ ‫ت‬‫سورفکتان‬ ) ‫با‬ ‫نسبت‬ ‫مشخص‬ ‫تهيه‬ ‫‌شوند‬ ‫ی‬‫م‬ . ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ ‫‌های‬ ‫ل‬‫مولکو‬ ‫فعال‬ ،‫سطحی‬ ‫‌هايی‬ ‫ل‬‫مولکو‬ ‫‌دوست‬ ‫ه‬‫دوگان‬ Amphiphilic ‫بوده‬ ‫و‬ ‫دارای‬ ‫يک‬ ‫بخش‬ ‫‌دوست‬ ‫ب‬‫آ‬ ‫و‬ ‫يک‬ ‫بخش‬ ‫‌گريز‬ ‫ب‬‫آ‬ ‫هستند‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 36 ‫‌های‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫ميکروامولسيون‬ ‫و‬ ‫مايسل‬ ‫معکوس‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ ‫‌که‬ ‫ی‬‫هنگام‬ ‫غلظت‬ ‫‌های‬ ‫ل‬‫مولکو‬ ‫فعال‬ ‫سطحی‬ ‫از‬ ‫يک‬ ‫حد‬ ‫بحرانی‬ Critical Micelle Concentration ‫بيشتر‬ ،‫شود‬ ‫تجمعات‬ ‫مايسلی‬ ‫در‬ ‫حالل‬ ‫تشکيل‬ ‫‌شوند‬ ‫ی‬‫م‬ . ‫‌های‬ ‫ل‬‫مولکو‬ ‫فعال‬ ‫سطحی‬ ‫به‬ ‫سه‬ ‫دسته‬ ‫کاتيونی‬ ، ‫آنيونی‬ ‫و‬ ‫خنثی‬ ‫‌بندی‬ ‫م‬‫تقسي‬ ‫‌شوند‬ ‫ی‬‫م‬ .
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 37 ‫‌های‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫ميکروامولسيون‬ ‫و‬ ‫مايسل‬ ‫معکوس‬ ‫سنتز‬ ‫نانوذرات‬ ‫در‬ ‫نانوراکتورهای‬ ‫مايسلی‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ ‫شکل‬ ‫و‬ ‫توزيع‬ ‫اندازه‬ ‫ذرات‬ ‫‌شده‬ ‫د‬‫تولي‬ ‫در‬ ‫اين‬ ‫نانوراکتورها‬ ‫بستگی‬ ‫به‬ ،‫شکل‬ ‫اندازه‬ ‫و‬ ‫‌های‬ ‫ش‬‫‌کن‬ ‫م‬‫بره‬ ‫بين‬ ‫‌های‬ ‫ل‬‫مايس‬ ‫‌شده‬ ‫ه‬‫استفاد‬ ‫دارد‬ . ‫از‬ ‫آنجايی‬ ‫که‬ ‫‌های‬ ‫ه‬‫‌ماد‬ ‫ش‬‫پي‬ ‫اوليه‬ ‌ ‫ا‬ ‫معموال‬ ‫محلول‬ ‫در‬ ‫آب‬ ‫هستند‬ ( ‫به‬ ‫ويژه‬ ‫برای‬ ‫سنتز‬ ‫نانوذرات‬ ‫معدنی‬ ) ، ‫لذا‬ ‫برای‬ ‫سنتز‬ ‫نانوذرات‬ ‫از‬ ‫‌های‬ ‫ل‬‫مايس‬ ‫معکوس‬ ‫به‬ ‫عنوان‬ ‫نانوراکتور‬ ‫استفاده‬ ‫‌شود‬ ‫ی‬‫م‬ . 1 - ‌‫حرکت‌قطرات‌فاز‌آبی‌در‌امولسيون‌و‌برخورد‬ ‫آن‬ ‫ها‬ 2 - ‌‫‌‌شدن‌اليه‌محافظ‌ماده‌فعال‌سطحی‌به‌دليل‬ ‫ز‬‫با‬ ‌‫برخورد‌و‬ ‫امتزاج‬ ‫قطرات‬ 3 - ‌‫نفوذ‬ ‫مولکول‬ ‫های‬ ‫‌دهنده‬ ‫ش‬‫واکن‬ ‌‫از‌يک‌قطره‌به‌قطره‬ ‫ديگر‬ 4 - ‌‫انجام‌واکنش‌بين‬ ‫‌دهنده‬ ‫ش‬‫واکن‬ ‫ها‬ ‌‫‌تشکيل‌هسته‌و‬،
‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫سنتز‌نانومواد‬ 38 ‫‌های‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫ميکروامولسيون‬ ‫و‬ ‫مايسل‬ ‫معکوس‬ ‫سنتز‬ ‫نانوذرات‬ ‫در‬ ‫نانوراکتورهای‬ ‫مايسلی‬ ‌‫‌هاي‬ ‫ش‬‫رو‬ ‫الیه‌نشاني‬ ‫با‬ ‫برخورد‬ ‫‌ها‬ ‫ل‬‫مايس‬ ‫به‬ ،‫يکديگر‬ ‫‌های‬ ‫ن‬‫يو‬ ‫محلول‬ ‫از‬ ‫فلز‬ ‫پوسته‬ ‫به‬ ‫داخل‬ ‫‌های‬ ‫ل‬‫مايس‬ ‫حاوی‬ ‫نانوذرات‬ ‫وارد‬ ‫شده‬ ‫و‬ ‫در‬ ‫واکنش‬ ‫با‬ ‫‌های‬ ‫ل‬‫مايس‬ ‫حاوی‬ ‫مواد‬ ‫کاهنده‬ ( ‫که‬ ‫از‬ ‫مرحله‬ ‫سنتز‬ ‫اوليه‬ ‫باقی‬ ‫‌اند‬ ‫ه‬‫ماند‬ ‫يا‬ ‫در‬ ‫مراحل‬ ‫بعدی‬ ‫اضافه‬ ‫‌اند‬ ‫ه‬‫شد‬ ) ‫احيا‬ ‫‌شوند‬ ‫ی‬‫م‬ ‫و‬ ‫به‬ ‫اين‬ ،‫ترتيب‬ ‫پوسته‬ ‫بر‬ ‫سطح‬ ‫نانوذره‬ ‫فلزی‬ ‫اوليه‬ ‫تشکيل‬ ‫‌شود‬ ‫ی‬‫م‬ . ‫درصورتی‬ ‫که‬ ‫مايسل‬ ‫حاوی‬ ‫‌های‬ ‫ن‬‫يو‬ ‫پوسته‬ ‫در‬ ‫ابتدا‬ ‫به‬ ‫مايسل‬ ‫حاوی‬ ‫مواد‬ ‫کاهنده‬ ‫برخورد‬ ،‫کند‬ ‫محصول‬ ‫نهايی‬ ‫حاوی‬ ‫نانوساختارهای‬ ‫هسته‬ - ‫پوسته‬ ‫و‬ ‫برخی‬ ‫نانوذرات‬ ‫اوليه‬ ( ‫بدون‬ ‫پوسته‬ ) ‫خواهد‬ ‫بود‬ . ‫ساختارهای‬ ‫‌شکل‬ ‫ی‬‫پياز‬ ‫که‬ ‫در‬ ‫واقع‬ ‫ساختارهای‬ ‫هسته‬ - ‫پوسته‬ ‫‌اليه‬ ‫د‬‫چن‬ ،‫هستند‬ ‫با‬ ‫همين‬ ‫رويکرد‬ ‫و‬ ‫با‬ Temperature Nanosensors https://doi.org/10.3390/app10082767
‫روش‌زيستی‬ • https://doi.org/10.1126/science.1068054 39 genetically engineered M13 bacteriophage and zinc sulfide (ZnS) nanocrystals ∼72-micrometer domains ‫کنترل‌ابعاد‌با‌غلظت‌و‌ميدان‌مغناطيسی‬
‫مطالعه‌بيشتر‬ 1) Synthesis of Nanomaterials: Methods & Technology, Firdos Alam Khan, DOI:10.1007/978-981-15-4802-4_2, 2020. 2) Nanomaterials: a review of synthesis methods, properties, recent progress, and challenges, https://doi.org/10.1039/D0MA00807A 3) Preparation of Nanoparticles, https://www.intechopen.com/chapters/71103 4) http://www.scielo.org.co/pdf/dyna/v79n174/v79n174a08.pdf 5)https://www.researchgate.net/publication/228859246_Nanoelectronics_and_nanolitho graphy ( 6 https://doi.org/10.1016/j.colsurfa.2015.09.014 7) https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2515-7655/ab0718/pdf 8) https://link.springer.com/article/10.1007/s11468-018-0704-8 40
‫پرسش‌و‌پاسخ‬ ‫با‌سپاس‌فراوان‬ 41

Empfohlen

Nanophotonics - day2.pptx
Nanophotonics - day2.pptxNanophotonics - day2.pptx
Nanophotonics - day2.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
QDThinFilms-1.pptx
QDThinFilms-1.pptxQDThinFilms-1.pptx
QDThinFilms-1.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day1.pptx
Nanophotonics - day1.pptxNanophotonics - day1.pptx
Nanophotonics - day1.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Review of the optical properties of carbon and graphene quantum dots
Review of the optical properties of carbon and graphene quantum dotsReview of the optical properties of carbon and graphene quantum dots
Review of the optical properties of carbon and graphene quantum dots
mohamadamiri5
 
photolithography
photolithographyphotolithography
photolithography
hadiriahimadvar
 
QDThinFilms-5.pptx
QDThinFilms-5.pptxQDThinFilms-5.pptx
QDThinFilms-5.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
QDThinFilms-4.pptx
QDThinFilms-4.pptxQDThinFilms-4.pptx
QDThinFilms-4.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
QDThinFilms-3.pptx
QDThinFilms-3.pptxQDThinFilms-3.pptx
QDThinFilms-3.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 

Empfohlen

Nanophotonics - day2.pptx
Nanophotonics - day2.pptxNanophotonics - day2.pptx
Nanophotonics - day2.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
QDThinFilms-1.pptx
QDThinFilms-1.pptxQDThinFilms-1.pptx
QDThinFilms-1.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day1.pptx
Nanophotonics - day1.pptxNanophotonics - day1.pptx
Nanophotonics - day1.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Review of the optical properties of carbon and graphene quantum dots
Review of the optical properties of carbon and graphene quantum dotsReview of the optical properties of carbon and graphene quantum dots
Review of the optical properties of carbon and graphene quantum dots
mohamadamiri5
 
photolithography
photolithographyphotolithography
photolithography
hadiriahimadvar
 
QDThinFilms-5.pptx
QDThinFilms-5.pptxQDThinFilms-5.pptx
QDThinFilms-5.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
QDThinFilms-4.pptx
QDThinFilms-4.pptxQDThinFilms-4.pptx
QDThinFilms-4.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
QDThinFilms-3.pptx
QDThinFilms-3.pptxQDThinFilms-3.pptx
QDThinFilms-3.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day7.pptx
Nanophotonics - day7.pptxNanophotonics - day7.pptx
Nanophotonics - day7.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day8.pptx
Nanophotonics - day8.pptxNanophotonics - day8.pptx
Nanophotonics - day8.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day6.pptx
Nanophotonics - day6.pptxNanophotonics - day6.pptx
Nanophotonics - day6.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day5.pptx
Nanophotonics - day5.pptxNanophotonics - day5.pptx
Nanophotonics - day5.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day4.pptx
Nanophotonics - day4.pptxNanophotonics - day4.pptx
Nanophotonics - day4.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Nanophotonics - day3.pptx
Nanophotonics - day3.pptxNanophotonics - day3.pptx
Nanophotonics - day3.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 
Patent Introduction - Persian.pptx
Patent Introduction - Persian.pptxPatent Introduction - Persian.pptx
Patent Introduction - Persian.pptx
Inv. Ali Bakhshi
 

Weitere ähnliche Inhalte

Mehr von Inv. Ali Bakhshi

Mehr von Inv. Ali Bakhshi (7)

Nanophotonics - day7.pptx
Nanophotonics - day7.pptxNanophotonics - day7.pptx
Nanophotonics - day7.pptx
 
Nanophotonics - day8.pptx
Nanophotonics - day8.pptxNanophotonics - day8.pptx
Nanophotonics - day8.pptx
 
Nanophotonics - day6.pptx
Nanophotonics - day6.pptxNanophotonics - day6.pptx
Nanophotonics - day6.pptx
 
Nanophotonics - day5.pptx
Nanophotonics - day5.pptxNanophotonics - day5.pptx
Nanophotonics - day5.pptx
 
Nanophotonics - day4.pptx
Nanophotonics - day4.pptxNanophotonics - day4.pptx
Nanophotonics - day4.pptx
 
Nanophotonics - day3.pptx
Nanophotonics - day3.pptxNanophotonics - day3.pptx
Nanophotonics - day3.pptx
 
Patent Introduction - Persian.pptx
Patent Introduction - Persian.pptxPatent Introduction - Persian.pptx
Patent Introduction - Persian.pptx
 

QDThinFilms-2.pptx