l'evaporation thermique est une technique de dépot physique en phase vapeur

1. Réalisé par : Malak TALBI
Mohamed Amin EL-AGUECH
Sahar JEDIDI
République de la Tunisie
Université de Sousse
Institut Supérieur des Sciences Appliquées et de Technologie de Sousse
Département Génie Electrique
Année universitaire : 2016-2017
Projet :
L’évaporation thermique

2. Plan Introduction:
L’évaporation thermique
Avantages et inconvénients
Quelques questions

3. Les techniques de dépôts
Dépôts chimiques
en phases vapeur
(CVD)
Dépôts physiques
en phases vapeur
(PVD)
Cible(source)
Substrat
Milieu

4. C’est quoi un dopage
?
Pourquoi on dépose ?

5. C’est quoi un couche
mince ?
e
Une couche mince (thin film) est un revêtement dont
l’épaisseur peut varier de quelques couches atomiques
à une dizaine de micromètres. Ces revêtements
modifient les propriétés du substrat sur lesquels ils sont
déposés

6. L’évaporation thermique
Principe:
L'évaporation sous vide repose sur deux
processus élémentaires : l'évaporation d'une
source chauffée et la condensation à l’état solide
de la matière évaporée sur le substrat.

7. Equipement
C’est l’équipement réel de l’évaporation.
Cette photo est prise lors de notre sortie au :
Lanser Laboratory, CRTEn, "Technopole of Borj Cedria"

8. Creuset
Matière
évaporée
Système de pompageélectrodes en cuivre
Couche en quartz

9. Cela ressemble quelque peu au procédé qui voit
l'eau liquide apparaître sur le couvercle d'une
casserole d'eau bouillante : l'eau liquide est
évaporée et se recondense sur le couvercle qui
est l'équivalent de la cible du dépôt.
Exemple pour mieux comprendre la
technique :

10. Structure de couches minces déposées par
évaporation thermique:
La morphologie des films déposés par évaporation thermique
est
définie principalement par le rapport entre la température du
substrat, Ts et la température de fusion, Tf du matériau à
déposer.
Ceci est illustré schématiquement par le Tableau suivant :

11. Avantages et inconvénients
(-) Couches minces
poreuses car les atomes
présentent une basse
énergie cinétique (de 0,1 à
0,3eV).
(-)Manque d’adhérance des
couches
(+) Facile à utilisé
(+) Vitesse de dépôt
élevée (de 1 nm/min à
10µm/min)
(+) Industriellement, la
technique d’évaporation est
très utilisée en optique ,en
décoration, pour le
revêtement de substrats en
feuilles (emballages ..)

12. Comment peut on obtenir
une structure en
multicouches ?
Un système à quatre sources
d'évaporation
(multi-creusets)
Utiliser un évaporateur
à un seul creuset et
faire le dépôt couche
par couche , et pour
chaque couche en
crée le vide .

13. Comment peut on contrôler l’épaisseur
de la couche mince déposée? Et à quoi
sert le système de pompage ?
Microbalance
en Quartz
Créer le vide afin de
réduire le taux
d’impureté et pour
obtenir des couches
minces de pureté
acceptable