1. 指導教師：盧淵源教授 學生： M944012003 杜思孝 M944012030 雲建裳 台灣積體電路製造股份有限公司 至善組 晶準圈 生產與作業管理 團結圈活動競賽—心得報告

3. 壹、公司簡介 公司名稱： 台灣積體電路製造股份有限公司（台積電， TSMC ） 創立日期： 1987 經營者： 董事長張忠謀先生，副董事長曾繁城先生 總經理暨總執行長蔡力行先生 主要產品： 晶圓製造服務 企業總部： 新竹科學園區力行六路八號 廠別： 6 吋廠：二廠（竹科） 8 吋廠：三，五，七，八（竹科），六廠（南科），十廠（上海） 12 吋廠：十二廠（竹科），十四廠（南科） 關係企業： 世界先進（竹科）， WaferTech （美國）， SSMC( 新加坡 ) 實收資本額： 2472.73 億元 主要技術： 0.6um ， 0.5um ， 0.35um ， 0.25um ， 0.18um ， 0.15um ， 0.13um ， 90nm ， 65nm ， 45nm 員工人數： 21,946 人 營業額及獲利： 2005 年 - 銷貨收入淨額 2646 億，稅後純益 936 億， EPS3.79 元 2006 年 Q1- 銷貨收入 773 億，稅後純益 326 億， EPS1.3 元

4. 貳 、 活動內容說明 一 、題目選定 1. 部門組織： 量測技術部門 2. 符合公司的四大核心價值： 誠信正直，創新，客戶是伙伴，承諾 3. 主題評估： - 降低十二吋晶圓廠量測機台校正作業人力與數據錯誤率 (529) - 提升十二吋晶圓廠量測機台校正作業之效能 (622) - 提升八吋晶圓廠量測機台校正作業之效能 (451) 4. 選定理由 - 滿足客戶需求 - 符合公司策略目標 - 縮短作業時間 - 調戰全球領導地位

8. 四 、 效果確認 原先手動 總共： 67 分鐘 改進後 總共： 23 分鐘 攻堅點一： 派工系統自動以 較高的優先順序 派工校正標準片 攻堅點四： 建立適合校正 的 OCAP 單與 停機單 攻堅點二： 確認所有標準片 都有 Lot ID ，讓 AMHS 系統認得 攻堅點三： 標竿學習製造部自動化量測監控 方式（包括控片清洗流程與機台 監控流程） 1.QC 標準片自 動派工至量測 機執行校正 5. 若校正數據 異常，自動開出 e-OCAP 4. 校正數據自動 輸入 SPC 管制圖 3. 自動選擇 校正程式 並執行校正 2.OHT 自動傳送 QC 標準片 3 分鐘 5 分鐘 10 分鐘 0 分鐘 5 分鐘

10. 六、標準化及成效維持 1. 建立自動化校正標準程序 2. 執行教育訓練 – 校正操作人員及校正系統維護人員 3. 水平展開推廣至 F12 4. 由圈內成員組成監控小組預防再發 5. 效果維持 - 2005-Jul ~ 2006-Apr 校正自動化率 100% - 校正作業時間： 21 ~ 25 分鐘 - 校正作業人力：人機比 0.04 人 / 機 - 校正數據錯誤率： 0%

12. 感謝聆聽 敬請指教