Projekt.

1. Projekt: Budowa i eksploatacja aparatury
naukowo badawczej
IM GR3 sem V
Pola Gwiaździńska
Karolina Korus
Mateusz Stefański
Dawid Wilczyński

2. PLAN PREZENTACJI
 Możliwości mikroskopu SEM
 Budowa skaningowego mikroskopu
elektronowego
 Zasada działania
 Parametry
 Preparatyka
 Wyniki badań

3. Skaningowy mikroskop
elektronowy
Zdjęcie całego stanowiska mikroskopu SEM na Politechnice Śląskiej

4. MOŻLIWOŚCI MIKROSKOPU
SEM:
 obserwacja struktury materiałów inżynierskich,
 obserwacja powierzchni przełomów,
 ujawnienie uszkodzeń korozyjnych i
trybologicznych,
 analiza jakościowa i ilościowa składu
chemicznego badanego obszaru,
 analiza wtrąceń i wydzieleń w strukturze,
 analiza dyfrakcyjna.

5. OGÓLNA BUDOWA
MIKROSKOPU SEM
Kolumna zawierająca:
 urządzenia tworzące i
formujące wiązkę
elektronów
 komorę preparatu
 urządzenia rejestrujące
obraz
 ewentualne dodatkowe
oprzyrządowanie
Zdjęcie kolumny wraz z działem elektronowym oraz detektorami
mikroskopu SEM na Politechnice Śląskiej

6. OGÓLNA BUDOWA MIKROSKOPU
SEM
Pozostałe układy
mikroskopu:
 układ próżniowy
 układ wysokiego
napięcia
 układ sterowania

7. DZIAŁO ELEKTRONOWE
Działa elektronowe dzielimy na :
 Emisję polową:
 Działo z zimną emisją polową
 Działa z emisją schotky’ego
 Termoemisja jonowa:
 Wolframowe
 Działo z LaB6

8. DZIAŁO ELEKTRONOWE
ELEMENTY BUDOWY
DZIAŁA
ELEKTRONOWEGO
 Katoda
 Cylinder Wehnelta
 Anoda

9. UKŁAD SOCZEWEK
 Soczewki elektromagnetyczne
kondensatora
 Apertura obiektywu (przesłona)
 Cewki skanujące

10. KOMORA PREPARATU ZE
STOLIKIEM PRÓBEK
Zdjęcie komory preparatu
mikroskopu SEM na
Politechnice Śląskiej
Ujęcie komory z próbkami od
wewnątrz mikroskopu SEM

11. UKŁAD PRÓŻNIOWY
Uproszczony schemat
systemu próżniowego
Schemat działania
pompy

12. UKŁAD STEROWANIA
Sterowanie za pomocą
komputera oraz zestawu
pokręteł

13. OGÓLNA ZASADA
DZIAŁANIA

14. OGÓLNA ZASADA
DZIAŁANIA

15. PARAMETRY
Mikroskopy skaningowe osiągają wartości
napięcia przyspieszającego do 50kV.
Mikroskop SUPRA 35 przy napięciu
35 kV pozwala na rozdzielczość
mikroskopu 1,2 nm.

16. ELEKTRONY WTÓRNE -
SE

17. ELEKTRONY WSTECZNIE
ROZPROSZONE - BSE

18. DETEKTORY
 EDS
 WDS
 In – Lens
 EBSD

19. PREPARATYKA
 Wielkość próbek
 Średnica nie większa niż 5 cm
 Wysokość nie przekraczająca 2,5 cm
 Sposób przygotowania próbek
 Usunięcie zanieczyszczeń
 Naparowanie cienkiej warstwy przewodnika
w przypadku próbek słabo przewodzących
prąd elektryczny

20. PREPARATYKA
Zdjęcie płuczki ultradźwiękowej znajdującej się w
laboratoriach na wydziale MT Politechniki Śląskiej

21. PREPARATYKA
Zdjęcia napylarki znajdującej się w laboratoriach na
wydziale MT Politechniki Śląskiej

22. ZDJĘCIA STRUKTUR
Nakładka stomatologiczna wraz ze zdjęciem przełomu

23. ZDJĘCIA STRUKTUR
Mostek dentystyczny wykonany ze stopu kobaltu

24. ZDJĘCIA STRUKTUR
Wiór po procesie skrawania ze stali DUPLEX

25. ANALIZA SPEKTROMETREM
EDS

26. BADANIE PUNKTOWE
SKŁADU CHEMICZNEGO

27. MAPA ROZKŁADU
PIERWIASTKÓW