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Slide 1Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung
GrundlagenGrundlagen
Mikro- und NanosystemeMikro- und Nanosysteme
Mikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und MedizinMikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und Medizin
Mikrofabrikation - EinführungMikrofabrikation - Einführung
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Slide 2Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung
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der Mikrofabrikationder Mikrofabrikation
Ursprung der PhotolithographieUrsprung der Photolithographie
Technologische EntwicklungTechnologische Entwicklung
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Slide 3Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung
Geschichte der PhotolithographieGeschichte der Photolithographie
LithographieLithographie (v.(v. altgriechaltgriech..: λίθος: λίθος lithoslithos, „Stein“ und γράφειν, „Stein“ und γράφειν grapheingraphein, „schreiben“), „schreiben“)
1796 Lithographie erfunden von1796 Lithographie erfunden von Johann Alois SenefelderJohann Alois Senefelder
1826 “Heliographie” erfunden von Joseph Nicéphore Niépce
Heliographie – Sonnenschreiben
Lichtempfindlicher Asphalt
Auf Glas- oder Zinnplatte
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Von der Photographie zur PhotolithographieVon der Photographie zur Photolithographie
18261826 Niépce macht die erste Kopie eines Kupferstichs vonmacht die erste Kopie eines Kupferstichs von
Cardinal d’AmboiseCardinal d’Amboise
Erste Anwendung. Einmaliger Strukturtransfer durch CameraErste Anwendung. Einmaliger Strukturtransfer durch Camera
Obscura, Belichtung und chemischem ÄtzenObscura, Belichtung und chemischem Ätzen
Auflösung 0.5 – 1 mm !!!Auflösung 0.5 – 1 mm !!!
1839 Daguerre, Weiterentwicklung und wiss. Anerkennung1839 Daguerre, Weiterentwicklung und wiss. Anerkennung
der Photographie, versilberte Kupferplatten, unikateder Photographie, versilberte Kupferplatten, unikate
Gleichzeitig auch Talbot, Wedgwood und andere arbeiten mitGleichzeitig auch Talbot, Wedgwood und andere arbeiten mit
lichtempfindlichen Silbersalzen auf Papier und Leder.lichtempfindlichen Silbersalzen auf Papier und Leder.
Photogenetische Zeichnungen. Negativ-Positiv.Photogenetische Zeichnungen. Negativ-Positiv.
VervielfältigungenVervielfältigungen
1855 Abel Niepce und Lemaître entwickeln die Heliagravuren1855 Abel Niepce und Lemaître entwickeln die Heliagravuren
100 Jahre später werden erste elektrische Schaltkreise in100 Jahre später werden erste elektrische Schaltkreise in
Kupfer so transferiert und geätztKupfer so transferiert und geätzt
1957 erste Planare Transistoren1957 erste Planare Transistoren
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1962 erster piezo-mechanische Elemente auf Siliziumchips1962 erster piezo-mechanische Elemente auf Siliziumchips
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Elektronische RechenmaschinenElektronische Rechenmaschinen
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Geschichte der MikrotechnikGeschichte der Mikrotechnik
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  • 9. Slide 9Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung Moore‘s LawMoore‘s Law Moore‘s Law besagt, dass die AnzahlMoore‘s Law besagt, dass die Anzahl billig plazierbarer Transistoren aufbillig plazierbarer Transistoren auf einem Prozessor sich alle 2 Jahreeinem Prozessor sich alle 2 Jahre verdoppelt. D.h. es gibt eineverdoppelt. D.h. es gibt eine exponentielle Entwicklung.exponentielle Entwicklung. Moore‘s Law wurde angewandt auf dieMoore‘s Law wurde angewandt auf die Transistoren in einem Prozessor.Transistoren in einem Prozessor. Galt aber schon länger.Galt aber schon länger. Neue Paradigmen führen zurNeue Paradigmen führen zur weiterentwicklung undweiterentwicklung und Beschleunigung desBeschleunigung des technologischen Fortschrittstechnologischen Fortschritts Die nächsten Paradigmen sollten baldDie nächsten Paradigmen sollten bald kommen, damit dieser Trendkommen, damit dieser Trend weitergeht.weitergeht.
  • 10. Slide 10Mikrosysteme – Geschichtliche Entwicklung Lineare Skala und Logarithmische SkalaLineare Skala und Logarithmische Skala
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