SlideShare a Scribd company logo
1 of 22
Stapelen met atomen!
 - precisie op de nanometer -



     dr.ir. Erik Langereis




              Open dag Junior College Utrecht
                    - 30 Maart 2010 -
Mijn achtergrond
                                                   1 / 21


• 1992 – 1997: VWO

• 1997 – 2003: Studie Technische Natuurkunde
• 2004 – 2008: Promotieonderzoek
                                             Nanoscience
• 2008 – 2010: Wetenschappelijk onderzoeker




• Maart 2010: Docent Natuurkunde aan de UU
     Departement Natuur- en Sterrenkunde
     Junior College Utrecht
Wat is Nanoscience?
                                                              2 / 21


In deze presentatie ligt de nadruk op:
Gecontroleerde groei van atomaire lagen:
     controle over dikte en materiaaleigenschappen

• Waarom is dat nodig?
       - Snellere computers, betere zonnecellen, slimmere auto’s, etc


• Hoe doe je dat?
       - Methode: atomaire laagdepositie (ALD)


• Hoe weet je dat het werkt?
       - Meten = Weten: extreem gevoelige diagnostieken
Toepassing van atomaire lagen
                                                                          3 / 21


Optische, mechanische, elektrische en chemische eigenschappen van dunne lagen




             Computers             Zonnecellen       Flexibele displays
Toepassing van atomaire lagen
                                                                             4 / 21


Optische, mechanische, elektrische en chemische eigenschappen van dunne lagen




              Computers              Zonnecellen        Flexibele displays


        Miniaturisatie van componenten op de microchip
       De Wet van Moore: “Meer functionaliteit op een kleiner oppervlakte”

       1950               1970                        2005            2010




                   Typische afmeting elektrische componenten:
                 centimeter   millimeter  micrometer  nanometer
Kleiner én meer functionaliteit
                                                                                  5 / 21

           De transistor schakelaar als voorbeeld
                        Isolator         Schakel electrode

                Electrode                             Electrode




                 Probleem door miniaturisatie
     Kleiner dimensies van de transistor en steeds hogere eisen
             verklein dikte van SiO2 isolator  lekstromen!!



                                     Gate
                                                                  Bestaande transistor:
                     Source                       Drain           “foto” gemaakt met
                                                                  electronenmicroscoop
                                   Insulator
                                   Channel


               SiO2 isolator = ~1.2 nm         4 atoomlagen!!
Kleiner én meer functionaliteit
                                                                  6 / 21

            De transistor schakelaar als voorbeeld


                                   Gate

                     Source                     Drain

                                  Isolator
                                 Channel


                              Oplossing
        Gebruik materialen met hoge dielektrische constante k!
          Verbeterde transistor met “iets dikkere” isolatorlaag
                                SiO2: k = 3.9
                               Al2O3: k = 9
                               HfO2: k = 25

                              SrTiO3: k > 300


 Controle van laagdikte en eigenschappen op het atomaire niveau
Kleiner én meer functionaliteit
                                                               7 / 21

             Het computergeheugen als voorbeeld




       Meer opslagcapaciteit door gebruik van 3D structuren:
        Groot oppervlakte en materialen met hoge k waarde


                   Probleem
            Bestaande groeimethodes
     “laaggroei is evenredig met deeltjesflux”
           Extreme conformaliteit vereist!



 Oplossing      Depositiemethode met extreem conformele groei
Atomaire laagdepositie (ALD)
                                                                        8 / 21


Groeimethode met controle van materiaaleigenschappen
  op het atomaire niveau én extreem conformele groei

   Verschillende methoden om “muurtje te metselen met atomen”




   chemisch opdampen:     fysisch opdampen:   atomaire laagdepositie:
      >500 nm/min             5-10 nm/min           <1 nm/min


         afhankelijk van deeltjesflux     onafhankelijk van deeltjesflux
                                                 conformaliteit!!
Principe van ALD
                                                                  9 / 21


               Gebruik van specifieke oppervlaktereacties
            “groei gelimiteerd door oppervlaktefunctionaliteit”

     Precursor A                         Precursor B




Zelfgelimiteerde oppervlaktereacties:              Demonstratie
        het hagelslag experiment
Principe van ALD: chemische reacties
                                                           10 / 21


        Gebruik van specifieke oppervlaktereacties
     “groei gelimiteerd door oppervlaktefunctionaliteit”


                  illustratie van ALD Al2O3
                     1 monolaag per cyclus




     Al(CH3)3                       H2O
Principe van ALD: conformaliteit
                                                                          11 / 21


         Gebruik van specifieke oppervlaktereacties
      “groei gelimiteerd door oppervlaktefunctionaliteit”




                             80 nm Al2O3 conformeel in diepe structuur!



Conformaliteit te danken aan de zelfgelimiteerde oppervlaktechemie
ALD in actie!
                12 / 21




 Animatie
ALD toepassingen:
  Ultradunne lagen – conformele groei – goede kwaliteit                                                             13 / 21


   Al2O3/Ta2O5: röntgen spiegel                             TiO2/ZnS:Mn/TiO2 and TiO2: 3D structuren
Szeghalmi et al., Appl. Phys. Lett. 94, 133111 (2009)                    King et al., Adv. Mater. 17, 1010 (2005)



                            100 nm




         20 nm Al2O3: beschermingslaag op organische display (OLED)

                           No film               a-SiNx:H film           ALD Al2O3 film




                              Langereis et al., Appl. Phys. Lett. 89, 081915 (2006)
                              Groner et al., Appl. Phys. Lett. 88, 051907 (2006)
                              Garcia et al., Appl. Phys. Lett. 89, 031915 (2006).
Meten aan nanometer dikke lagen
                                                                    14 / 21


• Zeer gevoelige diagnostieken nodig:
  • Electronenmicroscopen        laagdikte
  • Verstrooiingstechnieken       atomaire samenstelling
  • Optische methoden: spectroscopische ellipsometrie
          interactie van licht met materiaal

                                            Wikipedia.org




Interferentie door interne reflectie    Dispersie in optische constanten
   Informatie over atomaire laagdikte      Inzicht in materiaaleigenschappen
Extreme controle over laagdikte
                                                                         15 / 21


                           350
     Laagdikte Al2O3 (Å)   300

                           250       Raar!?
                           200

                           150

                           100

                           50

                             0
                                 0   50   100   150   200    250   300
                                          Aantal ALD cycli


                           Groei per ALD cyclus: 1 Å = 0.1 nm!!
Zelfgelimiteerde oppervlaktereacties
                                                                                                                                         16 / 21




                           2.0                                                                         2.0
                                          Groei
                                     in situ SE        wordt onafhankelijk van in situ SE
                                                                                dosering!
Groei per ALD cyclus (Å)




                                                                            Groei per ALD cyclus (Å)
                           1.5                                                                         1.5



                           1.0                                                                         1.0



                           0.5                          2s O2 plasma                                   0.5                     8 TMA doses
                                                                                                                                      o
                                                                  o                                                            T = 200 C
                                                        T = 200 C
                           0.0                                                                         0.0
                                 0   2       4     6      8       10   12                                    0   1      2        3            4

                                         Dosering precursor (s)                                                  Dosering reactant (s)
Optische constanten
                                                                                                           17 / 21


                       12
                       20                                             12
                                                                      60

                       10      n                                      10
                                                                      50                            Transparant:




                                                                           Extinctiecoëfficient k
                                                                  k                                 Al2O3
     Brekingsindex n




                        8
                        0             Optische constanten:            8
                                                                      40
                               n
                         6
                       -10      Brekingsindex: n                     30
                                                                      6                             Halfgeleider:
                                                                                                    TiO2
                         4
                       -20
                              n         Extinctiecoëfficient: k       20
                                                                      4
                                                                  k
                         2
                       -30                                            10
                                                                      2                             Metallisch:
                                                                  k
                                                                                                    TiN
                         0
                       -40                                            0


                             750 nm        zichtbaar licht   400 nm

                                       Golflengte (nm)


Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
Optische constanten
                                                                                                        18 / 21


                       12                                          12

                       10                                          10                            Transparant:




                                                                        Extinctiecoëfficient k
                                                            k                                    Al2O3
     Brekingsindex n




                       8                                           8
                              n
                       6                                           6                             Halfgeleider:
                                                                                                 TiO2
                       4
                             n                                     4

                       2                                           2                             Metallisch:
                                                            k
                                                                                                 TiN
                       0                                           0


                            750 nm      zichtbaar licht   400 nm

                                     Golflengte (nm)


Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
Optische constanten
                                                                                                        19 / 21


                       12                                          12

                       10                                          10                            Transparant:




                                                                        Extinctiecoëfficient k
                                                            k                                    Al2O3
     Brekingsindex n




                        8                                          8
                              n
                        6                                          6                             Halfgeleider:
                                                                                                 TiO2
                        4                                          4

                        2                                          2                             Metallisch:
                                                                                                 TiN
                        0                                          0


                            750 nm      zichtbaar licht   400 nm

                                     Golflengte (nm)


Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
Optische constanten
                                                                                                         20 / 21


                       12
                       20                                           60
                                                                    12

                       10      n                                    50
                                                                    10                            Transparant:




                                                                         Extinctiecoëfficient k
                                                             k                                    Al2O3
     Brekingsindex n




                        8
                        0                                           40
                                                                    8
                               n
                         6
                       -10                                          30
                                                                    6                             Halfgeleider:
                                                                                                  TiO2
                         4
                       -20
                              n                                     20
                                                                    4
                                                             k
                         2
                       -30                                          10
                                                                    2                             Metallisch:
                                                             k
                                                                                                  TiN
                         0
                       -40                                          0


                             750 nm      zichtbaar licht   400 nm

                                      Golflengte (nm)


Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
Nanoscience!!
                                                             21 / 21


Onderdeel:
 Gecontroleerde groei van nanometer lagen
• Waarom is dat nodig?
       - Snellere computers, efficiëntere zonnecellen, slimmere auto’s

• Hoe doe je dat?
       - Groeimethode: atomaire laagdepositie (ALD)

• Hoe weet je dat het werkt?
       - Meten = Weten: extreem gevoelige diagnostieken

1950          1970              2005         2010            2020




                                                             ?

More Related Content

More from Junior College Utrecht

Naar beta-excellentietrajecten VO-scholen
Naar beta-excellentietrajecten VO-scholenNaar beta-excellentietrajecten VO-scholen
Naar beta-excellentietrajecten VO-scholenJunior College Utrecht
 
Connecting Excellence in secondary and higher education: Junior College Utrecht
Connecting Excellence in secondary and higher education: Junior College UtrechtConnecting Excellence in secondary and higher education: Junior College Utrecht
Connecting Excellence in secondary and higher education: Junior College UtrechtJunior College Utrecht
 
Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...
Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...
Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...Junior College Utrecht
 
Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2
Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2
Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2Junior College Utrecht
 
Blik op de nanowereld op Woudschoten Chemie
Blik op de nanowereld op Woudschoten ChemieBlik op de nanowereld op Woudschoten Chemie
Blik op de nanowereld op Woudschoten ChemieJunior College Utrecht
 
Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...
Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...
Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...Junior College Utrecht
 
Uitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoek
Uitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoekUitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoek
Uitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoekJunior College Utrecht
 
wiskunde D: Constructies met passer en liniaal
wiskunde D: Constructies met passer en liniaalwiskunde D: Constructies met passer en liniaal
wiskunde D: Constructies met passer en liniaalJunior College Utrecht
 
Kunnen we het maken om te differentiëren?
Kunnen we het maken om te differentiëren?Kunnen we het maken om te differentiëren?
Kunnen we het maken om te differentiëren?Junior College Utrecht
 
Keuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkers
Keuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkersKeuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkers
Keuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkersJunior College Utrecht
 
JCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennis
JCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennisJCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennis
JCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennisJunior College Utrecht
 

More from Junior College Utrecht (20)

Symposium U-Talent campusprogramma
Symposium U-Talent campusprogrammaSymposium U-Talent campusprogramma
Symposium U-Talent campusprogramma
 
Workshop community
Workshop communityWorkshop community
Workshop community
 
Opening JCU conferentie 2013
Opening JCU conferentie 2013Opening JCU conferentie 2013
Opening JCU conferentie 2013
 
Differentiëren om te excelleren
Differentiëren om te excellerenDifferentiëren om te excelleren
Differentiëren om te excelleren
 
Naar beta-excellentietrajecten VO-scholen
Naar beta-excellentietrajecten VO-scholenNaar beta-excellentietrajecten VO-scholen
Naar beta-excellentietrajecten VO-scholen
 
Connecting Excellence in secondary and higher education: Junior College Utrecht
Connecting Excellence in secondary and higher education: Junior College UtrechtConnecting Excellence in secondary and higher education: Junior College Utrecht
Connecting Excellence in secondary and higher education: Junior College Utrecht
 
Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...
Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...
Characteristics of a challenging learning environment affecting students’ lea...
 
Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2
Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2
Influences on empowerment of talented secondary science students dortmund2
 
Blik op de nanowereld op Woudschoten Chemie
Blik op de nanowereld op Woudschoten ChemieBlik op de nanowereld op Woudschoten Chemie
Blik op de nanowereld op Woudschoten Chemie
 
Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...
Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...
Scientists’ and talented students’ contributions to an innovative secondary s...
 
The molecules of life
The molecules of lifeThe molecules of life
The molecules of life
 
Uitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoek
Uitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoekUitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoek
Uitdagende practica: van kookboek naar eigen onderzoek
 
Maak van je pws een meesterstuk
Maak van je pws een meesterstukMaak van je pws een meesterstuk
Maak van je pws een meesterstuk
 
wiskunde D: Constructies met passer en liniaal
wiskunde D: Constructies met passer en liniaalwiskunde D: Constructies met passer en liniaal
wiskunde D: Constructies met passer en liniaal
 
Kunnen we het maken om te differentiëren?
Kunnen we het maken om te differentiëren?Kunnen we het maken om te differentiëren?
Kunnen we het maken om te differentiëren?
 
Keuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkers
Keuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkersKeuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkers
Keuzeopdrachten wiskunde: voor uitblinkers en gewone harde werkers
 
Begeleiden van differentiatie
Begeleiden van differentiatieBegeleiden van differentiatie
Begeleiden van differentiatie
 
Gametechnologie
GametechnologieGametechnologie
Gametechnologie
 
JCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennis
JCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennisJCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennis
JCU thesis biochemisch labwerk op de grens van de kennis
 
Differentiëren met plantenpractica
Differentiëren met plantenpracticaDifferentiëren met plantenpractica
Differentiëren met plantenpractica
 

Nanoscience presentatie Erik Langereis op Open dag JCU

  • 1. Stapelen met atomen! - precisie op de nanometer - dr.ir. Erik Langereis Open dag Junior College Utrecht - 30 Maart 2010 -
  • 2. Mijn achtergrond 1 / 21 • 1992 – 1997: VWO • 1997 – 2003: Studie Technische Natuurkunde • 2004 – 2008: Promotieonderzoek Nanoscience • 2008 – 2010: Wetenschappelijk onderzoeker • Maart 2010: Docent Natuurkunde aan de UU Departement Natuur- en Sterrenkunde Junior College Utrecht
  • 3. Wat is Nanoscience? 2 / 21 In deze presentatie ligt de nadruk op: Gecontroleerde groei van atomaire lagen: controle over dikte en materiaaleigenschappen • Waarom is dat nodig? - Snellere computers, betere zonnecellen, slimmere auto’s, etc • Hoe doe je dat? - Methode: atomaire laagdepositie (ALD) • Hoe weet je dat het werkt? - Meten = Weten: extreem gevoelige diagnostieken
  • 4. Toepassing van atomaire lagen 3 / 21 Optische, mechanische, elektrische en chemische eigenschappen van dunne lagen Computers Zonnecellen Flexibele displays
  • 5. Toepassing van atomaire lagen 4 / 21 Optische, mechanische, elektrische en chemische eigenschappen van dunne lagen Computers Zonnecellen Flexibele displays Miniaturisatie van componenten op de microchip De Wet van Moore: “Meer functionaliteit op een kleiner oppervlakte” 1950 1970 2005 2010 Typische afmeting elektrische componenten: centimeter millimeter micrometer nanometer
  • 6. Kleiner én meer functionaliteit 5 / 21 De transistor schakelaar als voorbeeld Isolator Schakel electrode Electrode Electrode Probleem door miniaturisatie Kleiner dimensies van de transistor en steeds hogere eisen verklein dikte van SiO2 isolator lekstromen!! Gate Bestaande transistor: Source Drain “foto” gemaakt met electronenmicroscoop Insulator Channel SiO2 isolator = ~1.2 nm 4 atoomlagen!!
  • 7. Kleiner én meer functionaliteit 6 / 21 De transistor schakelaar als voorbeeld Gate Source Drain Isolator Channel Oplossing Gebruik materialen met hoge dielektrische constante k! Verbeterde transistor met “iets dikkere” isolatorlaag SiO2: k = 3.9 Al2O3: k = 9 HfO2: k = 25 SrTiO3: k > 300 Controle van laagdikte en eigenschappen op het atomaire niveau
  • 8. Kleiner én meer functionaliteit 7 / 21 Het computergeheugen als voorbeeld Meer opslagcapaciteit door gebruik van 3D structuren: Groot oppervlakte en materialen met hoge k waarde Probleem Bestaande groeimethodes “laaggroei is evenredig met deeltjesflux” Extreme conformaliteit vereist! Oplossing Depositiemethode met extreem conformele groei
  • 9. Atomaire laagdepositie (ALD) 8 / 21 Groeimethode met controle van materiaaleigenschappen op het atomaire niveau én extreem conformele groei Verschillende methoden om “muurtje te metselen met atomen” chemisch opdampen: fysisch opdampen: atomaire laagdepositie: >500 nm/min 5-10 nm/min <1 nm/min afhankelijk van deeltjesflux onafhankelijk van deeltjesflux conformaliteit!!
  • 10. Principe van ALD 9 / 21 Gebruik van specifieke oppervlaktereacties “groei gelimiteerd door oppervlaktefunctionaliteit” Precursor A Precursor B Zelfgelimiteerde oppervlaktereacties: Demonstratie het hagelslag experiment
  • 11. Principe van ALD: chemische reacties 10 / 21 Gebruik van specifieke oppervlaktereacties “groei gelimiteerd door oppervlaktefunctionaliteit” illustratie van ALD Al2O3 1 monolaag per cyclus Al(CH3)3 H2O
  • 12. Principe van ALD: conformaliteit 11 / 21 Gebruik van specifieke oppervlaktereacties “groei gelimiteerd door oppervlaktefunctionaliteit” 80 nm Al2O3 conformeel in diepe structuur! Conformaliteit te danken aan de zelfgelimiteerde oppervlaktechemie
  • 13. ALD in actie! 12 / 21 Animatie
  • 14. ALD toepassingen: Ultradunne lagen – conformele groei – goede kwaliteit 13 / 21 Al2O3/Ta2O5: röntgen spiegel TiO2/ZnS:Mn/TiO2 and TiO2: 3D structuren Szeghalmi et al., Appl. Phys. Lett. 94, 133111 (2009) King et al., Adv. Mater. 17, 1010 (2005) 100 nm 20 nm Al2O3: beschermingslaag op organische display (OLED) No film a-SiNx:H film ALD Al2O3 film Langereis et al., Appl. Phys. Lett. 89, 081915 (2006) Groner et al., Appl. Phys. Lett. 88, 051907 (2006) Garcia et al., Appl. Phys. Lett. 89, 031915 (2006).
  • 15. Meten aan nanometer dikke lagen 14 / 21 • Zeer gevoelige diagnostieken nodig: • Electronenmicroscopen laagdikte • Verstrooiingstechnieken atomaire samenstelling • Optische methoden: spectroscopische ellipsometrie interactie van licht met materiaal Wikipedia.org Interferentie door interne reflectie Dispersie in optische constanten Informatie over atomaire laagdikte Inzicht in materiaaleigenschappen
  • 16. Extreme controle over laagdikte 15 / 21 350 Laagdikte Al2O3 (Å) 300 250 Raar!? 200 150 100 50 0 0 50 100 150 200 250 300 Aantal ALD cycli Groei per ALD cyclus: 1 Å = 0.1 nm!!
  • 17. Zelfgelimiteerde oppervlaktereacties 16 / 21 2.0 2.0 Groei in situ SE wordt onafhankelijk van in situ SE dosering! Groei per ALD cyclus (Å) Groei per ALD cyclus (Å) 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 2s O2 plasma 0.5 8 TMA doses o o T = 200 C T = 200 C 0.0 0.0 0 2 4 6 8 10 12 0 1 2 3 4 Dosering precursor (s) Dosering reactant (s)
  • 18. Optische constanten 17 / 21 12 20 12 60 10 n 10 50 Transparant: Extinctiecoëfficient k k Al2O3 Brekingsindex n 8 0 Optische constanten: 8 40 n 6 -10  Brekingsindex: n 30 6 Halfgeleider: TiO2 4 -20 n Extinctiecoëfficient: k 20 4 k 2 -30 10 2 Metallisch: k TiN 0 -40 0 750 nm zichtbaar licht 400 nm Golflengte (nm) Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
  • 19. Optische constanten 18 / 21 12 12 10 10 Transparant: Extinctiecoëfficient k k Al2O3 Brekingsindex n 8 8 n 6 6 Halfgeleider: TiO2 4 n 4 2 2 Metallisch: k TiN 0 0 750 nm zichtbaar licht 400 nm Golflengte (nm) Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
  • 20. Optische constanten 19 / 21 12 12 10 10 Transparant: Extinctiecoëfficient k k Al2O3 Brekingsindex n 8 8 n 6 6 Halfgeleider: TiO2 4 4 2 2 Metallisch: TiN 0 0 750 nm zichtbaar licht 400 nm Golflengte (nm) Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
  • 21. Optische constanten 20 / 21 12 20 60 12 10 n 50 10 Transparant: Extinctiecoëfficient k k Al2O3 Brekingsindex n 8 0 40 8 n 6 -10 30 6 Halfgeleider: TiO2 4 -20 n 20 4 k 2 -30 10 2 Metallisch: k TiN 0 -40 0 750 nm zichtbaar licht 400 nm Golflengte (nm) Optische constanten geven inzicht in materiaaleigenschappen!
  • 22. Nanoscience!! 21 / 21 Onderdeel: Gecontroleerde groei van nanometer lagen • Waarom is dat nodig? - Snellere computers, efficiëntere zonnecellen, slimmere auto’s • Hoe doe je dat? - Groeimethode: atomaire laagdepositie (ALD) • Hoe weet je dat het werkt? - Meten = Weten: extreem gevoelige diagnostieken 1950 1970 2005 2010 2020 ?