MICRODOSIMETRIA DEL CAMPO ELETTROMAGNETICO INDOTTO A LIVELLO CELLULARE: UNO S...
Sensore di Massa
1. SISTEMI INTEGRATI DI MISURA – A. A. 2007/2008 Facoltà di Ingegneria Corso di Laurea Specialistica Automazione e Controllo dei Sistemi Complessi Progettazione e simulazione di un sensore di massa integrato a piatto sospeso in tecnologia CMOS Università degli Studi di Catania Gaetano L’Episcopo, Claudia Mangano, Christian Pernaci, Vanessa Privitera, Giuseppe Sansone, Giuseppe Scuderi Prof. Salvatore Baglio Ing. Nicolò Savalli
8. Sistema elettromeccanico Si è utilizzata la convenzione per la quale alle forze associamo le correnti sinusoidali e agli spostamenti le tensioni. Il parametro C (damping) del modello circuitale del piatto è stato posto pari alla costante di smorzamento del valore di 45.61 N*s/m, mentre la forza d’inerzia del piatto è stata modellizzata con un generatore di corrente contenente la massa. I parametri fisico-geometrici (massa) sono stati fissati in funzione dei risultati ottenuti durante il dimensionamento del dispositivo in ambiente Matlab ® .
9. Simulazione del sistema elettromeccanico Frequenza naturale modello: 30 kHz Frequenza naturale simulazione: 33 kHz
11. Risultato simulazione Coventor ® Ancoraggio dei 4 sostegni con la funzione “Allfix”. Imposizione di una forza scalare di 1 kPa sulla superficie superiore.
![[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],Step di progettazione](data:image/gif;base64,R0lGODlhAQABAIAAAAAAAP///yH5BAEAAAAALAAAAAABAAEAAAIBRAA7)