Prüfprotokoll         Analysatorblock – 1245490                                                 Serien-Nr. Analysatorblock...
Serien-Nr.Analysatorblock: ______________207     Durchmesser, 2. Bohrung                           H11       Ø3H7 (+0,01/-...
Serien-Nr. Analysatorblock: ______________        Maße DA-Linse (Ø3H7)                                Blatt 2501     Absta...
Serien-Nr. Analysatorblock: ______________614     Parallelität zu Fläche A , beide Flächen            B7            max. 0...
Serien-Nr. Analysatorblock: ______________      910     Dichtflächen für die Quadrupol-Durchf.                         gep...
Nächste SlideShare
Wird geladen in …5
×

Translate pdf test

298 Aufrufe

Veröffentlicht am

Veröffentlicht in: Design
0 Kommentare
0 Gefällt mir
Statistik
Notizen
  • Als Erste(r) kommentieren

  • Gehören Sie zu den Ersten, denen das gefällt!

Keine Downloads
Aufrufe
Aufrufe insgesamt
298
Auf SlideShare
0
Aus Einbettungen
0
Anzahl an Einbettungen
3
Aktionen
Geteilt
0
Downloads
0
Kommentare
0
Gefällt mir
0
Einbettungen 0
Keine Einbettungen

Keine Notizen für die Folie

Translate pdf test

  1. 1. Prüfprotokoll Analysatorblock – 1245490 Serien-Nr. Analysatorblock: ______________A. Sichtkontrolle:1. Teil sauber (kein Staub, keine Fussel, etc): geprüft und in Ordnung1a. Einblasbohrung CCT sauber geprüft und in Ordnung2. Bauteil frei von Beschädigungen: geprüft und in Ordnung2a. Anbauflächen der ionenoptischen Bauteile einwandfrei entgratet geprüft und in OrdnungB. Maßkontrolle:Nr. Referenzgeometrien:100 Güte der Fläche A (Ebenheit) Blatt 1 Max. 0,01= ___________101 Durchmesser zu Achse B Blatt 1 Ø68 -0,02/-0,04= ___________102 Rechtwinkligkeit Achse B zu Fläche A Blatt 1 Max. 0,01 = ___________103 Rechtwinkligkeit Fläche C zu Fläche A Blatt 2 Max. 0,01 = ___________104 Parallelität Fläche C zu Achse B Blatt 2 Max. 0,01 = ___________105 Abstand Fläche C zu Achse B Blatt 2 30,0±0,02 = ___________ Maße 90-Grad-Ablenkung Blatt 2201 Abstand zu Achse B F11 11,0±0,02 = ___________202 Abstand zwischen den Bohrungen H11 34,5±0,02 = ___________203 Abstand Fläche A,1. Bohrung H12 62,0±0,02 = ___________204 Durchmesser, 1. Bohrung H11 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________205 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H11 5±0,2= ___________206 Abstand Fläche A,2. Bohrung H12 62,0±0,02 = ___________Prüfprotokoll – Analysatorblock (1245490) Seite 1 von 5Dirk Wohlers letzte Änderung 29. September 2011
  2. 2. Serien-Nr.Analysatorblock: ______________207 Durchmesser, 2. Bohrung H11 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________208 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H11 5±0,2= ___________ Maße Kollisions-Zelle Blatt 2301 Abstand zu Pilot-B B(Y) F10 98±0,02 = ___________302 Abstand Pilot-B A (Z) , 1. Bohrung H12 2,5±0,01 = ___________303 Durchmesser, 1. Bohrung H10 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________304 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H10 5±0,2= ___________305 Abstand Pilot-B A (Z), 2. Bohrung H12 2,5±0,02 = ___________306 Abstand zwischen den Bohrungen G10 45,0±0,05 = ___________307 Durchmesser, 2. Bohrung H9 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________308 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H9 5±0,2= ___________309 Abstand Fläche C F10 14,0±0,02 = ___________310 Parallelität zu Fläche C F10 max. 0,02 = ___________ Maße DA-Linse (Ø2H7) Blatt 2401 Abstand zu Pilot-B B (Y), 1. Bohrung H8 237,6±0,01 = ___________402 Abstand zu Pilot-B B (Y), 2. Bohrung H8 237,6±0,01 = ___________403 Abstand Pilot-B A (Z), 2. Bohrung H8 29,0±0,01 = ___________404 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H8 55,0±0,01 = ___________405 Durchmesser, 1. Bohrung B13 Ø2H7 (+0,01/-0)= ___________406 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung B13 5±0,2= ___________407 Durchmesser, 2. Bohrung B13 Ø2H7 (+0,01/-0)= ___________408 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung B13 5±0,2= ___________409 Abstand Fläche C D8 82,5±0,02 = ___________410 Parallelität zu Fläche C D8 max. 0,01 = ___________Prüfprotokoll – Analysatorblock (1245490) Seite 2 von 5Dirk Wohlers letzte Änderung 29. September 2011
  3. 3. Serien-Nr. Analysatorblock: ______________ Maße DA-Linse (Ø3H7) Blatt 2501 Abstand zu Pilot-B B (Y) , 1. Bohrung H8 251,6,0±0,01 = ___________502 Abstand zu Pilot-B B (Y) , 2. Bohrung H8 251,6,0±0,01 = ___________503 Abstand Pilot-B A (Z) , 1. Bohrung H8 9,5±0,01 = ___________504 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H8 22,0±0,01 = ___________505 Durchmesser, 1. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________506 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H8 5±0,2= ___________507 Durchmesser, 2. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________508 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H8 5±0,2= ___________509 Abstand Fläche C E8 10,0±0,01 = ___________510 Parallelität zu Fläche C E8 max. 0,01 = ___________ Maße Quadrupol Blatt 2601 Abstand zu Pilot-B B (Y) , 1. Langloch H8 305,55±0,02 = ___________602 Abstand 1. Langloch zum 2. Langloch H6 168,55±0,02 = ___________603 Abstand zu Pilot-B A (Z), 1. Langloch H8 5,0±0,2 = ___________604 Länge 1. Langloch H8 4,0±0,1 = ___________605 Breite 1. Langloch H8 3,1±0,05 = ___________606 Abstand zu Pilot-B A (Z), 2. Langloch H6 5,0±0,2 = ___________607 Länge 2. Langloch H6 4,0±0,1 = ___________608 Breite 2. Langloch H6 3,2±0,1 = ___________609 Abstand Fläche C, 1. Fläche E7 4,6±0,02 = ___________610 Abstand Fläche C, 2. Fläche E7 4,6±0,02 = ___________611 Parallelität zu Fläche C , beide Flächen E7 max. 0,01 = ___________612 Abstand Fläche A , 1. Fläche B8 29,6±0,02 = ___________613 Abstand Fläche A , 2. Fläche B6 29,6±0,02 = ___________Prüfprotokoll – Analysatorblock (1245490) Seite 3 von 5Dirk Wohlers letzte Änderung 29. September 2011
  4. 4. Serien-Nr. Analysatorblock: ______________614 Parallelität zu Fläche A , beide Flächen B7 max. 0,01 = ___________ Maße SEM Blatt 2701 Abstand zu Achse B , 1. Bohrung H6 521,5±0,02 = ___________702 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H5 80,0±0,02 = ___________703 Abstand Pilot-B A (Z) , 1. Bohrung H6 25,0±0,01 = ___________704 Abstand 1. Bohrung zu 2. Bohrung H5 38,0±0,01 = ___________705 Durchmesser, 1. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________706 Nutzbare Tiefe, 1. Bohrung H8 5±0,2= ___________707 Durchmesser, 2. Bohrung H8 Ø3H7 (+0,01/-0)= ___________708 Nutzbare Tiefe, 2. Bohrung H8 5±0,2= ___________709 Abstand Fläche C E8 1,0±0,02 = ___________710 Parallelität zu Fläche C E8 max. 0,01 = ___________ Gewindeeinsätze801 2x Ensatbuchse M4x6 D9 geprüft und in Ordnung802 4x Ensatbuchse M6x8 D11 geprüft und in Ordnung803 8x Ensatbuchse M6x8 D13 geprüft und in Ordnung C. Qualität der Dichtflächen901 Dichtnut obere Vakuumkammer geprüft und in Ordnung902 Dichtnut untere Vakuumkammer geprüft und in Ordnung903 Dichtfläche an der Zwischenwand geprüft und in Ordnung904 Dichtflächen für Turbopumpe geprüft und in Ordnung905 Dichtfläche für Penningröhre geprüft und in Ordnung906 Dichtfläche für Piraniröhre geprüft und in Ordnung907 Dichtfläche für Expansionvalve geprüft und in OrdnungPrüfprotokoll – Analysatorblock (1245490) Seite 4 von 5Dirk Wohlers letzte Änderung 29. September 2011
  5. 5. Serien-Nr. Analysatorblock: ______________ 910 Dichtflächen für die Quadrupol-Durchf. geprüft und in Ordnung 911 Dichtfläche für das CCT-Modul geprüft und in Ordnung 912 Dichtnut zur Torchbox geprüft und in Ordnung 913 Dichtfläche zur Torchbox geprüft und in Ordnung 914 Dichtnut Slidevalve geprüft und in Ordnung 905901 904 910903 911902 914 906 912 907 913 Bemerkungen:_______________________________________________________ __________________________________________________________________ __________________________________________________________________ Name des Prüfers: _______________________ Firma: ____________________ Datum der Prüfung: ______________ Unterschrift des Prüfers: _____________ Prüfprotokoll – Analysatorblock (1245490) Seite 5 von 5 Dirk Wohlers letzte Änderung 29. September 2011

×