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“Revestimentos Protetores Obtidos a Plasma: Usos e
     Aplicações na Indústria Metal-Mecânica”


               Prof. Dr. Carlos A. Figueroa - cafiguer@ucs.br

             Laboratório de Engenharia de Superfícies e Tratamentos Térmicos
                Universidade de Caxias do Sul, Caxias do Sul-RS, Brasil

         Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies (Seção Caxias do Sul)

 Plasmar Tecnologia - Equipamentos e processos de modificação de superfícies por plasma
                Caxias do Sul-RS, Brasil - www.plasmartecnologia.com.br
Engenharia
                       de
                   Superfícies




   Áreas do                                Áreas de
conhecimento:                             aplicação:
                Nanotecnológica por
   Física           definição:          Metal-Mecânica
  Química                                   Óptica
 Matemática        Uma superfície é     Microeletrônica
  Mecânica         constituída de 2      Biomateriais
  Materiais           dimensões           Decoração
                 macroscópicas e uma
                3ra que está na ordem
                  dos nanometros !
Importância da Engenharia de Superfícies
              por Plasma




     Evolução do número de patentes mundiais. Palavras-
     chave: surface, plasma, engineering. Fonte: Derwent
     Innovations Index.
Processos de engenharia de superfícies do
  tipo PVD (physical vapor deposition)




        http://www.youtube.com/watch?v=bevqI4b48rs
Durezas comparativas de diversos
           materiais
Tendência de uso no mundo




Prof. W.-D. Münz, Curso “Fundamentals and Trends in Plasma Surface Processing”,
Alemanha (2002).
Status geral do uso de revestimentos (2001)




  Prof. W.-D. Münz, Curso “Fundamentals and Trends in Plasma Surface Processing”,
  Alemanha (2002).
Mercado dos revestimentos para ferramentas
               status 2001


     USA                            Europa                           Ásia




                TiN           TiCN          AlTiN          Outros

  Prof. W.-D. Münz, Curso “Fundamentals and Trends in Plasma Surface Processing”,
  Alemanha (2002).
O que é Diamond-Like Carbon ?
    É um material composto de carbono do tipo
                    sp3 e sp2
                Diamante              Grafite (lápis)




 C-sp3                                                    C-sp2


           Material natural      Excelente lubrificante
         mais duro (10.000 HV)           sólido
PROPRIEDADES DO MATERIAL (DLC)
          Dureza (Vickers)                  1.000-3.000 (ajustável)
          Temperatura do processo de
                                            150°C
          deposição
                                            0,1 – 0,01 (depende do conteúdo
          Coeficiente de atrito
                                            de H e lubrificante)
          Espessura do revestimento         0,001-10 µm

          Temperatura máxima de trabalho 500°C

                                            Quimicamente inerte: não reage
          Resistência química
                                            com ácido nem com álcali.

          Resistência elétrica              106-1012 ohm-cm (isolante)
          Acabamento do revestimento        Idêntico ao substrato



C. Donnet e A. Erdemir, Tribology of Diamond-Like Carbon Films, Ed. Springer (2008)
Aonde se aplica DLC atualmente ?

     Cabeçote de leitura              Motores de competição
      e superfície do HD




                                      Folhas para máquina
                                           de barbear




                        Vidros:
                  Leitora de código
                      de barras
Autopeças de alto atrito e candidatas a serem
            revestidas por DLC
                                    Eixo de comando de válvulas
                                    Tuchos



                                    Válvulas


                                    Pistão

                                    Anel de pistão
                                    Pino de pistão



                                    Virabrequim


  Outras candidatas: engrenagens, partes de bombas de fluídos
                       e ar condicionado.
Exemplos de usos e aplicações


              Revestimento: TiN
        Uso: revestimentos de brocas
        Aplicação: usinagem até 450oC




             Revestimento: AlTiN
        Uso: revestimentos de brocas
        Aplicação: usinagem até 900oC
Propriedades químicas dos revestimentos




Toxi (TiN) ~ 600oC    Toxi (AlTiN) ~ 900oC
Revestimentos protetores nano-estruturados

                   TiN-CNx(1)           E daí???                    TiN-CrN(2)




(1) Z.-J. Liu et al., Thin Solid Films 479, 31   (2) C. Mendibide et al., Triboligy Letters 17, 779
    (2005)                                           (2004)
Mecanismos de propagação de trincas
             nos revestimentos

   Monocamada                 Multicamada




                         Caminho de propagação
Caminho de propagação   não contínuo e mais extenso
      contínuo
                        Maior vida do revestimento!
Moldes e matrizes de conformação e
               injeção de alumínio




Conformação de metal           Injeção de Al

        TiCN                   CrN ou AlCrN
         DLC
     TiN + MoS2
Processos duplex e propriedades mecânicas




          O gradiente de dureza suave melhora a vida do
             revestimento (trincas e desplacamento)(1)
(1) A. R. Franco Jr., tese de doutorado, Escola Politécnica da USP (2003)
Aplicações: Revestimento de Si3N4 para usinagem a seco




Broca com revestimento protetor
     para usinagem a seco




                                  No caso do Si3N4, ainda não existe
                                  uma explicação do mecanismo de
                                                ação.

                                  Atualmente na UCS e dentro das
                                    atividades do INES, estamos
                                     pesquisando esse sistema.
Tratamento Termo-Oxidativo (TTO)

Si3N4 obtido por
   magnetron             Tratamento com 18O2
    sputtering


                        Simula as condições de
                             trabalho real
    500oC      1000oC


    Temperaturas de       4 hora a 100 mbar
Nanodureza antes e após TTO

                  23

                  22
 D ureza (G Pa)

                  21

                  20

                  19

                                                  S e m TT
                  18
                                                  T T 5 00 o C
                  17
                                                  T T 1 000o C
                  16
                       0      1 00   2 00   300   400            5 00
                                                             oC )
                           T em pertura de D eposição    (




A dureza não muda após 4 h a 1000oC
Perfil de oxigênio no revestimento
                                                                                  1000º C = 7-8 nm
                                                                                   500º C = 3-4 nm

                                                                         SiNxOy
            1 00
                                    P ad rão S iO 2
             80                     Te m p . Am b . TT 1 000o C
                                    D 300o C TT 1 000o C
                                    D 500o C TT 1 000o C
                                                                               Si3N4
1 8O (% )




             60
                                    Te m p . Am b . TT 500o C
             40
                                    D 300o C TT 500o C
                                    D 500o C TT 500o C

             20
                                                                                 Si
              0
                   0      5             10              15
                          P rofu nd id ad e (nm )
                                                                  Revestimento parcialmente oxidado
                                                                   e em seção transversal depositado
                                                                             sobre silício
Atrito antes e após TTO
                                                  D e p os ição a 25 o C
                               0,1 0
                                                                                         (a)
                               0,08                                                   5 mN
C o e fic ie n te d e Atrito




                                                                                      10mN

                               0,06
                                                                                      20 m N    5mN 110nm
                                                                                                   Comportamento aleatório antes do
                                                                                                                                                                   TTO

                                                                                           10mN 160nm
                               0,04




                                                                                                                                                                                              Si
                               0,02
                                                  Ve lo c id ad e : 1 µm /s

                               0,00                                                        20mN
                                                  S e m T ratam e n to T e rm o -O x id ativo
                                                                                                                                              260nm
                                       0   2 00        400         600          800        1 000                                                          D e p os ição a 25 o C
                                                    D is tâ n c ia (µm )                                                          0,1 4        Ve lo c id ad e : 1 µm /s                       (b )
                          O coeficiente de atrito diminui




                                                                                                                                               9nm
                                                                                                                                               T T 1 000 o C                                5 mN
                                                                                                                                  0,1 2
                          pela formação da nanocamada                                                                                                           500nm
                                                                                                                                                                                            10mN


                                                                                                   C o e fic ie n te d e Atrito
                                                                                                                                  0,1 0                                                     20 m N
                                    de SiNxOy




                                                                                                                                                                                            to
                                                                                                                                  0,08




                                                                                                                                               y




                                                                                                                                                                       4
                                                                                                                                              N



                                                                                                                                                                 3N




                                                                                                                                                                                         stra
                                                                                                                                              x
                                                                                                                                     SiO
                                                                                                                                  0,06




                                                                                                                                                                Si
   O coeficiente de atrito aumenta com




                                                                                                                                                                                      Sub
                                                                                                                                  0,04
   a força normal aplicada (após TTO a                                                                                            0,02
                  1000oC)
                                                                                                                                  0,00

                                                                                                                                          0       2 00           400        600       800       1 000

                                                                                                                                                               D is tâ n c ia (µm )
INFRAESTRUTURA DA UCS:
3.Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV): morfologia e
espessura do DLC.
4.Difratômetro de raios-X: estrutura cristalina do DLC.
5.Nanotribômetro: nanodureza do DLC.


  Revestimento DLC sobre aço                 MEV
NanoDureza e módulo                        Célula de líquidos
    de elasticidade                         (Ex. lubrificante)


                         NanoTribômetro




   Módulo de alta
temperaura (até 550oC)                      NanoDesgaste e
                                              NanoScratch
                                          (Ex. Adesão e atrito)
GD-OES




                         Revestimento de ZrN
                                   sobre aço
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função da profundidade
Engenharia de superfícies – do
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Revestimentos Protetores Obtidos a Plasma na Indústria Metal-Mecânica

  • 1. “Revestimentos Protetores Obtidos a Plasma: Usos e Aplicações na Indústria Metal-Mecânica” Prof. Dr. Carlos A. Figueroa - cafiguer@ucs.br Laboratório de Engenharia de Superfícies e Tratamentos Térmicos Universidade de Caxias do Sul, Caxias do Sul-RS, Brasil Instituto Nacional de Engenharia de Superfícies (Seção Caxias do Sul) Plasmar Tecnologia - Equipamentos e processos de modificação de superfícies por plasma Caxias do Sul-RS, Brasil - www.plasmartecnologia.com.br
  • 2. Engenharia de Superfícies Áreas do Áreas de conhecimento: aplicação: Nanotecnológica por Física definição: Metal-Mecânica Química Óptica Matemática Uma superfície é Microeletrônica Mecânica constituída de 2 Biomateriais Materiais dimensões Decoração macroscópicas e uma 3ra que está na ordem dos nanometros !
  • 3. Importância da Engenharia de Superfícies por Plasma Evolução do número de patentes mundiais. Palavras- chave: surface, plasma, engineering. Fonte: Derwent Innovations Index.
  • 4. Processos de engenharia de superfícies do tipo PVD (physical vapor deposition) http://www.youtube.com/watch?v=bevqI4b48rs
  • 5. Durezas comparativas de diversos materiais
  • 6. Tendência de uso no mundo Prof. W.-D. Münz, Curso “Fundamentals and Trends in Plasma Surface Processing”, Alemanha (2002).
  • 7. Status geral do uso de revestimentos (2001) Prof. W.-D. Münz, Curso “Fundamentals and Trends in Plasma Surface Processing”, Alemanha (2002).
  • 8. Mercado dos revestimentos para ferramentas status 2001 USA Europa Ásia TiN TiCN AlTiN Outros Prof. W.-D. Münz, Curso “Fundamentals and Trends in Plasma Surface Processing”, Alemanha (2002).
  • 9. O que é Diamond-Like Carbon ? É um material composto de carbono do tipo sp3 e sp2 Diamante Grafite (lápis) C-sp3 C-sp2 Material natural Excelente lubrificante mais duro (10.000 HV) sólido
  • 10. PROPRIEDADES DO MATERIAL (DLC) Dureza (Vickers) 1.000-3.000 (ajustável) Temperatura do processo de 150°C deposição 0,1 – 0,01 (depende do conteúdo Coeficiente de atrito de H e lubrificante) Espessura do revestimento 0,001-10 µm Temperatura máxima de trabalho 500°C Quimicamente inerte: não reage Resistência química com ácido nem com álcali. Resistência elétrica 106-1012 ohm-cm (isolante) Acabamento do revestimento Idêntico ao substrato C. Donnet e A. Erdemir, Tribology of Diamond-Like Carbon Films, Ed. Springer (2008)
  • 11. Aonde se aplica DLC atualmente ? Cabeçote de leitura Motores de competição e superfície do HD Folhas para máquina de barbear Vidros: Leitora de código de barras
  • 12. Autopeças de alto atrito e candidatas a serem revestidas por DLC Eixo de comando de válvulas Tuchos Válvulas Pistão Anel de pistão Pino de pistão Virabrequim Outras candidatas: engrenagens, partes de bombas de fluídos e ar condicionado.
  • 13. Exemplos de usos e aplicações Revestimento: TiN Uso: revestimentos de brocas Aplicação: usinagem até 450oC Revestimento: AlTiN Uso: revestimentos de brocas Aplicação: usinagem até 900oC
  • 14. Propriedades químicas dos revestimentos Toxi (TiN) ~ 600oC Toxi (AlTiN) ~ 900oC
  • 15. Revestimentos protetores nano-estruturados TiN-CNx(1) E daí??? TiN-CrN(2) (1) Z.-J. Liu et al., Thin Solid Films 479, 31 (2) C. Mendibide et al., Triboligy Letters 17, 779 (2005) (2004)
  • 16. Mecanismos de propagação de trincas nos revestimentos Monocamada Multicamada Caminho de propagação Caminho de propagação não contínuo e mais extenso contínuo Maior vida do revestimento!
  • 17. Moldes e matrizes de conformação e injeção de alumínio Conformação de metal Injeção de Al TiCN CrN ou AlCrN DLC TiN + MoS2
  • 18.
  • 19. Processos duplex e propriedades mecânicas O gradiente de dureza suave melhora a vida do revestimento (trincas e desplacamento)(1) (1) A. R. Franco Jr., tese de doutorado, Escola Politécnica da USP (2003)
  • 20. Aplicações: Revestimento de Si3N4 para usinagem a seco Broca com revestimento protetor para usinagem a seco No caso do Si3N4, ainda não existe uma explicação do mecanismo de ação. Atualmente na UCS e dentro das atividades do INES, estamos pesquisando esse sistema.
  • 21. Tratamento Termo-Oxidativo (TTO) Si3N4 obtido por magnetron Tratamento com 18O2 sputtering Simula as condições de trabalho real 500oC 1000oC Temperaturas de 4 hora a 100 mbar
  • 22. Nanodureza antes e após TTO 23 22 D ureza (G Pa) 21 20 19 S e m TT 18 T T 5 00 o C 17 T T 1 000o C 16 0 1 00 2 00 300 400 5 00 oC ) T em pertura de D eposição ( A dureza não muda após 4 h a 1000oC
  • 23. Perfil de oxigênio no revestimento 1000º C = 7-8 nm 500º C = 3-4 nm SiNxOy 1 00 P ad rão S iO 2 80 Te m p . Am b . TT 1 000o C D 300o C TT 1 000o C D 500o C TT 1 000o C Si3N4 1 8O (% ) 60 Te m p . Am b . TT 500o C 40 D 300o C TT 500o C D 500o C TT 500o C 20 Si 0 0 5 10 15 P rofu nd id ad e (nm ) Revestimento parcialmente oxidado e em seção transversal depositado sobre silício
  • 24. Atrito antes e após TTO D e p os ição a 25 o C 0,1 0 (a) 0,08 5 mN C o e fic ie n te d e Atrito 10mN 0,06 20 m N 5mN 110nm Comportamento aleatório antes do TTO 10mN 160nm 0,04 Si 0,02 Ve lo c id ad e : 1 µm /s 0,00 20mN S e m T ratam e n to T e rm o -O x id ativo 260nm 0 2 00 400 600 800 1 000 D e p os ição a 25 o C D is tâ n c ia (µm ) 0,1 4 Ve lo c id ad e : 1 µm /s (b ) O coeficiente de atrito diminui 9nm T T 1 000 o C 5 mN 0,1 2 pela formação da nanocamada 500nm 10mN C o e fic ie n te d e Atrito 0,1 0 20 m N de SiNxOy to 0,08 y 4 N 3N stra x SiO 0,06 Si O coeficiente de atrito aumenta com Sub 0,04 a força normal aplicada (após TTO a 0,02 1000oC) 0,00 0 2 00 400 600 800 1 000 D is tâ n c ia (µm )
  • 25. INFRAESTRUTURA DA UCS: 3.Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV): morfologia e espessura do DLC. 4.Difratômetro de raios-X: estrutura cristalina do DLC. 5.Nanotribômetro: nanodureza do DLC. Revestimento DLC sobre aço MEV
  • 26. NanoDureza e módulo Célula de líquidos de elasticidade (Ex. lubrificante) NanoTribômetro Módulo de alta temperaura (até 550oC) NanoDesgaste e NanoScratch (Ex. Adesão e atrito)
  • 27. GD-OES Revestimento de ZrN sobre aço Análise química em função da profundidade
  • 28. Engenharia de superfícies – do Laboratório à Indústria Empresa de base tecnológica incubada na ITEC (nasceu no LESTT da UCS) Reator da Plasmar (1ro no RS) – 1 ton Peças recebendo tratamento
  • 29. O Plasma em Ação na Nitretadora Industrial